[实用新型]一种单晶炉氩气回收系统

权利要求书

1.一种单晶炉氩气回收系统，其特征在于：废氩气储罐（1）的出气端口通过管道连接加热器（2）的进气端口，加热器（2）的出气端口通过管道连接催化反应器（3）的进气端口，催化反应器（3）的出气端口通过管道连接冷却器（4）的进气端口，冷却器（4）的出气端口通过管道连接吸附器（5）的进气端口，吸附器（5）的出气端口通过管道连接高纯氩储罐（6）的进气端口；所述催化反应器（3）内装填有一氧化碳脱除催化剂，吸附器（5）内装填沸石分子筛。

2.根据权利要求1所述的单晶炉氩气回收系统，其特征在于：所述一氧化碳脱除催化剂以级配方式无序的状态密实堆砌在催化反应器（3）内。

3.根据权利要求2所述的单晶炉氩气回收系统，其特征在于：所述一氧化碳脱除催化剂级配方式为1mm-2mm催化剂45%-50%，3mm-4mm催化剂40%-43%，5mm-6mm催化剂10%-12%。

4.根据权利要求1所述的单晶炉氩气回收系统，其特征在于：所述沸石分子筛以级配方式无序的状态密实堆砌在吸附器（5）内。

5.根据权利要求4所述的单晶炉氩气回收系统，其特征在于：所述沸石分子筛级配方式为1mm-3mm分子筛40%-50%，4mm-5mm分子筛30%-35%，6mm-7mm分子筛20%-25%。

6.根据权利要求1所述的单晶炉氩气回收系统，其特征在于：所述冷却器（4）周圈环绕有冷却管道（11）。

7.根据权利要求6所述的单晶炉氩气回收系统，其特征在于：所述冷却管道（11）的下部为进冷却液口（7），上部为出冷却液口（8），上部位于出冷却液口（8）的附近连接有一个喷头管道（10），喷头管道（10）的另一端设置有气雾喷头（9），气雾喷头（9）朝向冷却管道（11）的主体喷射气雾，阀门（12）设于喷头管道（10）上。