[实用新型]高温退火石墨加热器电极和石墨加热器

说明书

本实用新型公开一种高温退火石墨加热器电极和石墨加热器，该电极包括：导电柱，所述导电柱具有相对的第一端和第二端，所述导电柱沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口及设于所述导电柱的侧壁上的第二过水口，所述第二过水口靠近所述导电柱的第一端设置；隔水件，所述隔水件从所述第一过水口设于所述冷却水腔内，所述隔水件将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道和第二水道，所述第一水道与所述第一过水口连通，所述第二水道与所述第二过水口连通。本实用新型的电极，能改善电极冷却水系统漏水、堵塞等问题。

技术领域

本实用新型涉及加热器技术领域，特别涉及一种高温退火石墨加热器电极和石墨加热器。

背景技术

在太阳能电池高温硒化退火真空设备中，其所需要的工艺温度高达700℃，且易造成腐蚀现像。传统的加热方式是采用石墨加热器进行高温加热，石墨加热器引电的电极材料常用紫铜，而紫铜在真空高温环境下容易腐蚀，铜电极需加水冷结构。

传统所采用的水冷结构是在铜电极上打2个冷却水道，2个冷却水道连接呈U形，2个冷却水道的设计易造成加工的铜电极壁厚不一致的情况，然后2个冷却水道需要连接，则需要从铜电极侧面再打孔，使之能成为水流回路，但从电极侧面打孔的地方需补焊一小块紫铜，如此，容易导致漏水和堵塞的现象。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供高温退火石墨加热器电极和石墨加热器，旨在解决电极水结构中途冷却水漏水、堵塞等问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种高温退火石墨加热器电极，所述电极包括：导电柱，所述导电柱具有相对的第一端和第二端，所述导电柱沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口及设于所述导电柱的侧壁上的第二过水口，所述第二过水口靠近所述导电柱的第一端设置；隔水件，所述隔水件从所述第一过水口设于所述冷却水腔内，所述隔水件将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道和第二水道，所述第一水道与所述第一过水口连通，所述第二水道与所述第二过水口连通。

优选地，所述冷却水腔内设置有固定所述隔水件的固定件，所述固定件对所述第二水道与所述第一过水口的连通部分进行封闭，所述固定件与所述冷却水腔的内壁之间形成有连通所述第一水道与第一过水口的连通孔。

优选地，所述电极还包括：绝缘法兰、陶瓷及铜排；所述导电柱包括沿所述第一端至第二端方向依次连接的接电段、传输段以及转接段，所述传输段上包覆有陶瓷套，所述接电段通过铜螺母连接铜排；所述转接段上设置导电件，所述陶瓷套上套设绝缘法兰。

优选地，所述传输段的周壁上设置有防氧化层。

优选地，所述防氧化层为聚四氟。

优选地，所述陶瓷在与所述绝缘法兰连接的面上设有凸柱，所述绝缘法兰上对应位置设置有与所述凸柱匹配的凹槽，所述陶瓷通过所述凸柱卡入所述绝缘法兰上对应的所述凹槽，以与所述绝缘法兰固定连接。

优选地，所述导电件为石墨。

优选地，所述导电件包括石墨接头以及石墨堵头，所述石墨接头一端连接宝塔接头，另一端连接石墨堵头；所述石墨堵头夹设在所述陶瓷与所述导电柱之间，所述石墨堵头与所述陶瓷连接面之间安装有垫片，所述石墨堵头与所述陶瓷固定连接。

优选地，所述导电柱材质为316不锈钢；所述冷却水腔直径为12mm，深度为130mm，所述隔水件直径为6mm，深度为110mm。

本实用新型还提出一种石墨加热器，包括高温退火石墨加热器电极，高温退火石墨加热器电极的结构参照上述，此处不再赘述。