[实用新型]一种大气压低温等离子体片状薄膜处理设备

权利要求书

1.一种大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，包括电极（4）和处理平台（1），所述的处理平台（1）位于电极（4）的下方，其特征在于：所述的电极（4）设置在放电部分（23）内，还包括机架（6），所述的机架（6）被放电部分（23）分割成左右两部分，所述的右部分为封闭的空间，左部分为开放空间，所述的处理平台（1）原始状态为在左部分，所述处理平台（1）下方的一侧设有第一导杆（15），下方另一侧设有第二导杆（21），第一导杆（15）被第一导杆支架（16）支撑，第二导杆（21）被第二导杆支架（22）支撑，所述的处理平台（1）的下方，第一导杆（15）和第二导杆（21）的中间位置设有丝杆（3），所述的第一导杆（15）、第二导杆（21）、丝杆（3）长度相等，都是一半在左部分，一半在右部分，所述的丝杆（3）带动处理平台（1）左右平移，所述的丝杆（3）和电机（2）连接，所述的电机（2）设置在右部分，所述的右部分的右侧内框设有排气口（5）。

2.如权利要求1所述的大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，其特征在于：所述的电极（4）被第一固定板（18）固定，电极（4）上方设有第二固定板（19），所述的第二固定板（19）上左右两端设置有升降螺纹，所述的升降螺纹一端和第二固定板（19）连接，另一端和放电部分（23）的顶部连接，所述的升降螺纹通过调节旋钮（12）来旋转调节高低，所述的调节旋钮（12）从放电部分（23）中伸出，所述的第一固定板（18）两侧设有支撑板（20）。

3.如权利要求2所述的大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，其特征在于：所述的第二固定板（19）在两个升降螺纹之间设有两个导正杆（13），所述的导正杆（13）一端和第二固定板（19）连接，另一端和放电部分（23）的顶部连接。

4.如权利要求1-3任一权利要求所述的大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，其特征在于：所述的右部分顶端设置有透明的维护观察板（9），所述的维护观察板（9）能够打开。

5.如权利要求1-3任一权利要求所述的大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，其特征在于：所述的机架内部设有内置电源（11），所述的内置电源（11）通过高压接线端子（14）和电极连接。

6.如权利要求1-3任一权利要求所述的大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，其特征在于：所述的左部分设有触摸显示屏（7），所述的触摸显示屏上设置有控制按钮（8）。

7.如权利要求1-3任一权利要求所述的大气压低温等离子体片状薄膜处理设备，其特征在于：所述的机架（6）外部还设有电源开关（10）。