[实用新型]一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置

权利要求书

1.一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，包括超声雾化系统和反应系统，其特征在于：

所述超声雾化系统包括雾化罐进气管道、超声雾化仪、雾化罐和雾化罐排气管道，所述超声雾化仪与雾化罐底部连接，所述雾化罐顶部设有前驱体溶液注入孔，所述雾化罐一侧与雾化罐进气管道相连通，另一侧通过雾化罐排气管道与反应系统连接；

所述反应系统包括压电换能单元、反应室排气管道、反应室、衬底、加热器和弹性元件，所述反应室底部与加热器连接，所述加热器上端面且位于反应室内设有衬底，所述反应室顶部通过弹性元件与压电换能单元连接，所述压电换能单元辐射面与衬底平行且形成间隙空间，所述反应室排气管道与反应室相连，用于反应废气的排出；

所述雾化罐排气管道与反应室相连，并伸入到压电换能单元辐射面与衬底形成的间隙空间处。

2.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，其特征在于：所述雾化罐进气管道和雾化罐排气管道分别设有雾化罐进气管道控制阀门和雾化罐排气管道控制阀门。

3.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，其特征在于：所述加热器对衬底的加热温度可调节，其调整范围为25～700℃。

4.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，其特征在于：所述压电换能单元采用单层压电片、压电叠堆或夹心式超声换能器中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，其特征在于：所述压电换能单元的共振频率可调节，其调整范围是10～100kHz。

6.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，其特征在于：所述弹性元件为弹簧。