[实用新型]一种硅片贴片机有效

专利信息
申请号: 201821955478.X 申请日: 2018-11-26
公开(公告)号: CN209266362U 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 厉惠宏;徐继东;胡晓光 申请(专利权)人: 金瑞泓科技(衢州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人: 宋缨;孙健
地址: 324000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷盘 升降装置 贴片装置 翻转 料盘 加压冷却装置 本实用新型 传送机构 刷洗装置 涂蜡装置 加热台 贴片机 硅片 左右对称布置 自动化 生产
【说明书】:

本实用新型涉及一种硅片贴片机,包括料盘进出盒升降装置、陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、涂蜡装置、翻转贴片装置、加压冷却装置,左右对称布置有料盘进出盒升降装置,每个料盘进出盒升降装置的后方均设置有传送机构,两个传送机构的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、翻转贴片装置以及加压冷却装置,所述的翻转贴片装置的前方设置有涂蜡装置。本实用新型自动化程度高,适合大批量生产。

技术领域

本实用新型涉及硅片贴片机技术领域,特别是涉及一种硅片贴片机。

背景技术

硅片贴片是在硅片加工过程中必不可少的程序,目前主要人工借助定制的工装夹具手工操作工作效率低,贴片速度慢,贴片质量不稳定,影响产品质量及企业发展。料盘进出盒都是人工放置的,生产效率较低。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片贴片机,自动化程度高,适合大批量生产。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种硅片贴片机,包括料盘进出盒升降装置、陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、涂蜡装置、翻转贴片装置、加压冷却装置,左右对称布置有料盘进出盒升降装置,每个料盘进出盒升降装置的后方均设置有传送机构,两个传送机构的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、翻转贴片装置以及加压冷却装置,所述的翻转贴片装置的前方设置有涂蜡装置;

所述的料盘进出盒升降装置包括第一工作台、升降架顶板和固定框架底板,所述的第一工作台上方水平布置有升降架顶板,该升降架顶板的下端四周均竖直安装有导杆,所述的第一工作台上设置有与导杆相配的导套,所述的导杆的下端穿过导套与第一工作台下方布置的升降架底板固定,所述的第一工作台一侧竖直布置有丝杆,该丝杆的下端穿过升降架底板与固定框架底板中部转动连接,所述的固定框架底板两侧对称布置有与第一工作台下端相连的固定框架立板,所述的丝杆穿过第一工作台的上端安装有第一从动带轮,该第一从动带轮一侧安装有第一伺服电机,所述的第一伺服电机的输出轴上安装有第一主动带轮,该第一主动带轮通过皮带与第一从动带轮相连,所述的升降架底板上安装有套在丝杆上并与丝杆螺纹连接的连接套,所述的升降架顶板的后端中部开有矩形缺口,所述的第一工作台上端位于矩形缺口内的左右两侧对称布置有第一安装板,两个第一安装板之间均匀布置有若干第一转轴,所述的第一转轴的两侧安装有第一滚轮,两个第一安装板之间的中部横向安装有第二伺服电机,该第二伺服电机的输出轴上安装有驱动轮;

所述的传送机构包括第二安装板、第三伺服电机和第二转轴,所述的第一工作台上端位于料盘进出盒升降装置后方并排布置有两个第二安装板,两个第二安装板之间均匀布置有若干个第二转轴,所述的第二转轴的两侧安装有第二滚轮,该第二转轴的一端安装有从动链轮,其中一个第二安装板上安装有第三伺服电机,该第三伺服电机的输出轴上安装有主动链轮,所述的主动链轮通过链条与从动链轮相连;

所述的陶瓷盘加热台与加压冷却装置之间安装有第二工作台,该第二工作台上端前后分别安装有涂蜡装置和翻转贴片装置;

所述的涂蜡装置包括辅助升降气缸、升降台和第四伺服电机,所述的第二工作台上端的前后两侧均竖直布置有辅助升降气缸,每个辅助升降气缸的活塞杆上端均安装有辅助吸盘,两个辅助升降气缸之间并排布置有两个第一升降气缸,所述的第一升降气缸的上端与升降台相连,该升降台中部内安装有真空罩杯,所述的真空罩杯内设置有真空腔,该真空罩杯的下端安装有第四伺服电机,所述的真空腔内转动安装有加长轴,该加长轴穿过真空罩杯的上端连接有第一吸盘,所述的加长轴的下端与第四伺服电机的输出轴相连,所述的加长轴内设置有用于连接第一吸盘和真空腔的真空通道,所述的真空罩杯的一侧开有与真空腔连通的通孔,该通孔通过气管与抽真空设备相连,所述的升降台的上方设置有甩涂蜡箱,该甩涂蜡箱的上端连接有滴蜡管,位于后方的辅助升降气缸其上方设置有烤蜡箱,所述的第二工作台的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板,两个滑台立板的下端通过滑台底板相连,所述的第二工作台底部安装有与滑台底板相连的磁偶气缸,每个滑台立板的上端均对应安装有三个硅片置板;

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