[实用新型]一种超声辅助的纳米薄膜制备装置有效
| 申请号： | 201821959036.2 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN209291971U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 薛浩;胡俊辉 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C23C18/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电换能单元 衬底 本实用新型 超声辅助 储液凹槽 纳米薄膜 纳米材料 声辐射力 四维调节 制备装置 辐射面 非线性效应 衬底表面 成膜过程 固体纳米 和声学 热分解 悬浊液 粘结层 溶剂 超声 沉积 空化 溶质 吸附 薄膜 和声 蒸发 储存 | ||
【权利要求书】：
1.一种超声辅助的纳米薄膜制备装置，其特征在于：包括压电换能单元、储存纳米材料悬浊液的储液凹槽和衬底，所述压电换能单元底部设有四维调节平台，所述四维调节平台使所述压电换能单元作X轴、Y轴和Z轴方向移动以及绕Z轴旋转；所述储液凹槽通过粘结层与压电换能单元的辐射面进行连接，并固化为一个整体；所述衬底通过支架固定于储液凹槽内且位于储液凹槽内纳米材料悬浊液的液面以下或恰好与纳米材料悬浊液液面浸润接触，所述衬底与储液凹槽的底面保持一定距离且所述衬底与储液凹槽无接触。
2.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米薄膜制备装置，其特征在于：所述四维调节平台设置在水平工作台上，所述衬底与水平工作台的水平面平行且衬底与压电换能单元的辐射面平行。
3.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米薄膜制备装置，其特征在于：所述支架与衬底固定并调节所述衬底升降。
4.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米薄膜制备装置，其特征在于：所述储液凹槽内部结构为圆柱体、长方体或半球体中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种超声辅助的纳米薄膜制备装置，其特征在于：所述压电换能单元采用单层压电片、压电叠堆或夹心式超声换能器中的一种。
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