[实用新型]一种声表面波器件用压电晶片有效
申请号: | 201821959762.4 | 申请日: | 2018-11-27 |
公开(公告)号: | CN209619506U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 温旭杰;宋伟;宋松;崔建钢;陈培杕;施旭霞 | 申请(专利权)人: | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
主分类号: | C30B29/30 | 分类号: | C30B29/30;C30B31/02;C30B33/00;H01L41/187;H01L41/39 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人: | 伍华荣 |
地址: | 310000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 本实用新型 压电晶片 铌酸锂 热释电效应 钽酸锂晶片 多层结构 还原处理 还原层 晶片 锂化 近化学计量比 声表面波器件 晶格缺陷 气相平衡 声表面波 丝网印刷 运输方式 第三层 粉工艺 基底层 碳酸锂 钽酸锂 锂空位 锂离子 锂层 制备 还原 占据 优化 | ||
【权利要求书】:
1.一种声表面波器件用压电晶片,包括表层、还原层和晶片基底层,其特征是:
所述表层为铌酸锂、钽酸锂单晶加工制成的同质晶片;
所述表层的有效深度为几微米至几十微米。
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