[实用新型]一种可调节的坩埚护板有效
申请号: | 201821961237.6 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN210368004U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 胡动力;赵玉兵;张立明 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调节 坩埚 | ||
1.一种可调节的坩埚护板,其特征在于,包括首尾连接的多个护板,相邻两个护板中第一个护板于连接处设有开孔结构,第二个护板于连接处设有插板,其中所述开孔结构包括沿平行于第一个护板顶边的方向排列的多个开孔,所述插板上还设置有沿平行于第二个护板顶边的方向排列的多个卡槽,所述插板插入任一个所述开孔中,还包括与所述卡槽卡接以将相邻两个护板连接的卡件。
2.根据权利要求1所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,所述开孔结构在垂直于护板顶边的方向上设置有多处,所述插板对应设置多处。
3.根据权利要求1所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,每个所述开孔结构包括至少两个并排设置的所述开孔。
4.根据权利要求1所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,所述卡件包括主体部和自所述主体部同向伸出的两个突出部,所述两个突出部之间具有间隙并与所述卡槽的壁卡接。
5.根据权利要求1所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,所述护板的数目为四个。
6.根据权利要求5所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,每个护板均一端设有所述的开孔结构,相对的另一端则设有所述的插板。
7.根据权利要求5所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,其中两个护板的相对两端均设有所述的开孔结构,另外两个护板的相对两端均设有所述的插板。
8.根据权利要求1所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,所述护板的材质为碳碳复合材料。
9.根据权利要求1所述的可调节的坩埚护板,其特征在于,所述卡件的材质为石墨或碳碳复合材料。
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