[实用新型]一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置

权利要求书

1.一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，包括壳体(1)、第一绝缘垫(2)、真空密封端盖装置(3)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、轴芯挡圈(6)、屏蔽罩(7)、驱动轴芯(8)、调心轴承(9)、磁性密封装置(10)、磁性液体(11)、圆锥滚子轴承(12)、小圆螺母(13)、锁紧螺母(14)、驱动同步带轮(15)、电机支架(16)、分水装置(17)、同步带(18)、电机同步带轮(19)、电机张紧装置(20)、电机绝缘垫(21)、驱动电机(22)、轴用卡簧(23)、第一旋转导电装置(24)、第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27)、进水接头(28)、出水接头(29)、旋转磁棒装置(30)、第三O型圈(31)、第二旋转导电装置(32)、靶材端密封盖(33)和靶材(34)，驱动轴芯(8)上安装有调心轴承(9)，驱动轴芯(8)上的密封间隙(1004)沟槽内注入磁性液体(11)，轴芯挡圈(6)安装在调心轴承(9)上，驱动轴芯(8)的密封间隙(1004)处还安装有磁性密封装置(10)，圆锥滚子轴承(12)安装在壳体(1)和驱动轴芯(8)上，锁紧螺母(14)和小圆螺母(13)依次压紧圆锥滚子轴承(12)设置，真空密封端盖装置(3)通过螺丝固定在壳体(1)上，驱动轴芯(8)通过轴用卡簧(23)安装固定有驱动同步带轮(15)，驱动电机(22)通过螺丝与电机绝缘垫(21)固定，驱动电机(22)、电机绝缘垫(21)通过螺丝安装在电机支架(16)上，电机支架(16)安装在壳体(1)上，电机同步带轮(19)安装在驱动电机(22)上，同步带(18)将电机同步带轮(19)与驱动同步带轮(15)连接，电机支架(16)上安装有用于张紧同步带(18)的电机张紧装置(20)，分水装置(17)通过螺丝与电机支架(16)和壳体(1)固定，第一旋转导电装置(24)固定在驱动轴芯(8)上，分水装置(17)上依次固定有第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27)，分水装置(17)上设置有出水接头(29)，进水接头(28)设置在驱动轴芯(8)左端，第一绝缘垫(2)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、屏蔽罩(7)依次通过螺丝固定在壳体(1)上，靶材(34)通过螺纹连接安装在驱动轴芯(8)上，靶材(34)外端通过第三O型圈(31)设置有靶材端密封盖(33)，靶材端密封盖(33)内侧设置有第二旋转导电装置(32)。

2.根据权利要求1所述的一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，所述的真空密封端盖装置(3)包括真空密封端盖(301)、轴用动密封O型圈(302)、第一骨架油封(303)、孔用卡簧(304)和第四O型圈(305)，真空密封端盖(301)上安装有骨架油封(303)，孔用卡簧(304)在卡簧槽内固定骨架油封(303)，轴用动密封O型圈(302)和第四O型圈(305)分别设置在第一骨架油封(303)两侧，且第四O型圈(305)安装在轴孔密封槽和端面密封槽内。

3.根据权利要求1所述的一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，所述的第一旋转导电装置(24)包括导电支架(2401)、导电弹片(2402)和固定螺丝(2403)，导电弹片(2402)通过固定螺丝(2403)固定在导电支架(2401)上。

4.根据权利要求1所述的一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，所述的旋转磁棒装置(30)包括磁棒型腔(3001)、磁棒轴(3002)、V型支架(3003)、第永磁体(3004)和永磁体支架(3005)，V型支架(3003)安装在磁棒型腔(3001)内，磁棒轴(3002)固定在V型支架(3003)上，永磁体支架(3005)安装在磁棒型腔(3001)的滑槽内，第一永磁体(3004)通过滑槽安装进磁棒型腔(3001)内。

5.根据权利要求1所述的一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，所述的磁性密封装置(10)包括极靴(1001)、第二永磁体(1002)、第五O型圈(1003)和密封间隙(1004)，第二永磁体(1002)、极靴(1001)和驱动轴芯(8)构成的导磁回路密封间隙(1004)中注入有磁性液体(11)，形成数个液体O型圈，且极靴(1001)与驱动轴芯(8)之间还设置有第五O型圈(1003)。

6.根据权利要求1所述的一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，所述的分水装置(17)包括分水壳体(1701)、分水壳体支座(1702)、第二骨架油封(1703)、分水挡圈(1704)和第六O型圈(1705)，分水壳体(1701)通过第六O型圈(1705)与分水壳体支座(1702)密封配合，分水挡圈(1704)通过第二骨架油封(1703)与分水壳体支座(1702)配合。