[实用新型]柔性膜敷放装置有效
申请号: | 201821963771.0 | 申请日: | 2018-11-27 |
公开(公告)号: | CN209298146U | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 石保强 | 申请(专利权)人: | 汉能移动能源控股集团有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H02S20/26 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 100107 北京市朝阳*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 治具 固定主体 柔性膜 抓取 波浪形状 基板放置 夹紧机构 模块固定 移动机构 转折处 波峰 波谷 施力 机构连接 连续间隔 施力机构 作业效率 多曲面 放置位 下表面 基板 竖直 申请 匹配 自动化 | ||
1.一种柔性膜敷放装置,其特征在于,包括:
基板放置位,用于放置多曲面基板;
柔性膜放置位,用于放置柔性膜;
敷放机构,包括:
抓取模块,用于抓取所述柔性膜;
治具,其下表面为敷放面,用于将柔性膜敷放在多曲面基板上,所述敷放面为与多曲面基板匹配的波浪形状,所述波浪形状由连续间隔设置的波峰以及波谷构成,每个所述波峰或所述波谷均存在一个转折处,所述敷放面最多包含一个所述转折处;
施力模块,与所述治具连接,用于带动所述治具沿竖直方向往复运动。
2.根据权利要求1所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,所述敷放机构包括固定主体、多个所述治具以及与各所述治具独立连接的所述施力模块,多个所述治具沿所述波浪形状的延伸方向依次紧密排布,且每个所述敷放面分别匹配多曲面基板对应位置的波浪形状。
3.根据权利要求2所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,每个所述敷放面均为一个波峰或一个波谷。
4.根据权利要求2或3所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,所述抓取模块包括:
多根抽气管,与所述固定主体连接,并沿竖直方向穿过所述治具;
吸盘,设置在所述抽气管远离所述固定主体的一端。
5.根据权利要求1至3任一项所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,还包括移动机构,其与所述敷放机构连接,用于使所述敷放机构在所述基板放置位以及所述柔性膜放置位之间移动;所述基板放置位与所述柔性膜放置位沿第一方向并排排布,所述移动机构为水平移动机构。
6.根据权利要求5所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,还包括夹紧机构,其设置在所述基板放置位的两侧,用于与所述多曲面基板共同夹紧所述柔性膜。
7.根据权利要求6所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,所述夹紧机构包括:
支撑主体;
平移模块,与所述支撑主体连接,用于带动所述支撑主体靠近/远离所述多曲面基板;
夹紧部,与所述支撑主体转动连接,具有用于将所述柔性膜向下压紧在所述多曲面基板上的下压端;
下压模块,固定在所述支撑主体上且与所述夹紧部连接,用于使所述下压端下压。
8.根据权利要求6所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,还包括:
多曲面基板传送机,沿与所述第一方向垂直的第二方向输送多曲面基板,所述基板放置位位于所述多曲面基板传送机上。
9.根据权利要求8所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,所述波浪形状的所述波峰与所述波谷沿所述第二方向排布,所述夹紧机构沿所述第一方向设置在所述基板放置位的两侧。
10.根据权利要求2或3所述的柔性膜敷放装置,其特征在于,所述敷放机构还包括:
竖直运动模块,与所述固定主体连接,并能够带动所述固定主体沿竖直方向往复运动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的