[实用新型]一种用于气体浓度测量的陶瓷芯片及传感器

权利要求书

1.一种用于气体浓度测量的陶瓷芯片，其特征在于,包括层叠设置在一起的第一至第三陶瓷基体层、测量单元、加热单元以及屏蔽单元，所述加热单元设置在所述第一陶瓷基体层上，所述加热单元连接外部电源以对所述陶瓷芯片加热，所述测量单元设置在所述第三陶瓷基体层上，所述测量单元在达到预定的温度条件时将测量到的被测气体的浓度信息转化为对应的电压或电流信号，所述屏蔽单元设置在介于所述第一陶瓷基体层和所述第三陶瓷基体层之间的所述第二陶瓷基体层上，所述屏蔽单元为与地线连接的网状结构或密实结构的电导体，所述屏蔽单元在所述第二陶瓷基体层上的位置和尺寸经配置以阻断所述第一陶瓷基体层上的所述加热单元的加热电压对所述第三陶瓷基体层上的所述测量单元的电场干扰。

2.如权利要求1所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述地线为外部地线或者所述加热单元的接地端。

3.如权利要求1所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述加热单元包括加热丝和用于连接所述外部电源的引线部分，所述加热丝为含铂的材料，所述加热单元的引线部分为含有铂、镍、铬、钨中的一种或多种的材料。

4.如权利要求1所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述测量单元用于测量氮氧化合物、一氧化碳或氧气的浓度。

5.如权利要求1所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述陶瓷为氧化锆材料。

6.如权利要求1所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述外部电源为直流电源或交流电源。

7.如权利要求1所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述外部电源为脉冲电源。

8.如权利要求1至6任一项所述的陶瓷芯片，其特征在于,所述第三陶瓷基体层进一步包含三个基体层，所述测量单元包括上下相对设置地夹在所述三个基体层中的相邻基体层之间的第一测量元件和第二测量元件。

9.一种传感器，用于气体浓度的测量，其特征在于,包括如权利要求1至8任一项所述陶瓷芯片。