[实用新型]一种二次电子探测器有效

专利信息
申请号: 201821969957.7 申请日: 2018-11-28
公开(公告)号: CN209183498U 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 皮晓宇 申请(专利权)人: 上海欧波同仪器有限公司
主分类号: H01J37/244 分类号: H01J37/244;H01J37/16;H01J37/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200433 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电动伸缩杆 隔光 反光镜 二次电子探测器 本实用新型 等距离分布 隔热板 滤光罩 保证 顶部内壁 铰链连接 滤光效果 热量传导 散热效果 图像清晰 导热垫 导热杆 隔热的 活塞杆 接口端 散热 水箱 内壁 射入 过滤 检测
【说明书】:

实用新型公开了一种二次电子探测器,包括接口端,所述接口端的一侧设有隔光套,且隔光套的内壁设有等距离分布的隔热板,所述隔热板右侧的中间位置和隔光套的顶部内壁均设有等距离分布的电动伸缩杆,且相邻两个电动伸缩杆活塞杆的一端通过铰链连接有同一个反光镜,所述反光镜远离电动伸缩杆的一侧设有滤光罩。本实用新型可将光束中不需要的干扰光束进行过滤,保证最终的检测到的图像清晰,保证了隔热的效果,导热垫和导热杆将隔光套内的热量传导至水箱内进行散热,在保证滤光罩内散热效果的同时,有效保证滤光效果,可通过电动伸缩杆调节反光镜的倾斜角度,适用于不同角度射入的光束,方便易操作。

技术领域

本实用新型涉及探测器技术领域,尤其涉及一种二次电子探测器。

背景技术

在材料科学领域,为更好地了解材料的性能与微观结构之间的关系,采用电子显微镜,如扫描电子显微镜,对材料的形貌及丝织结构进行观察是一种常用的研究手段,在高温样品台上的样品被加热到高温以后,样品会产生大量的红外光和可见光,因为扫描电镜的标准二次电子探测器收集组件比较灵敏,而红外光和可见光的信号过于强大,超出了标准二次电子探测器收集组件的检测范围,将导致标准二次电子探测器收集组件所收集的信号过强,进而使得扫描电镜检测到的图像为白斑,无法正常观测样品表面在高温下的变化状态,且现有的二次电子探测器的内部隔热效果不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种二次电子探测器。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种二次电子探测器,包括接口端,所述接口端的一侧设有隔光套,且隔光套的内壁设有等距离分布的隔热板,所述隔热板右侧的中间位置和隔光套的顶部内壁均设有等距离分布的电动伸缩杆,且相邻两个电动伸缩杆活塞杆的一端通过铰链连接有同一个反光镜,所述反光镜远离电动伸缩杆的一侧设有滤光罩,且滤光罩的圆周外壁均开设有等距离分布的第一散热孔,所述滤光罩圆周内壁靠近反光镜的一侧设有等距离分布的挡板,所述隔热板一侧的顶部开设有穿孔,所述隔光套远离接口端的一侧设有电子进入端,且隔光套的圆周外壁套接有导热垫,所述导热垫远离隔光套的一侧设有等距离分布的导热杆,所述隔光套圆周外壁的两侧均设有等距离分布的连接杆,且连接杆远离隔光套的一端设有水箱,所述水箱顶部外壁的左侧设有蒸汽排出管。

作为本实用新型再进一步的方案:所述挡板位于相邻第一散热孔开口的一侧,且挡板的横截面为C形结构。

作为本实用新型再进一步的方案:所述挡板的一侧开设有等距离分布的第二散热孔,且第二散热孔的内壁为倾斜设置。

作为本实用新型再进一步的方案:所述导热杆远离导热垫的一端延伸至水箱的内部,且导热杆延伸至水箱内部的一端设有等距离分布的延伸翼。

作为本实用新型再进一步的方案:所述电子进入端圆周内壁的右侧设有铜线栅格,且水箱顶部外壁的左侧开设有通孔,通孔的顶部开口和蒸汽排出管的底部开口相对应。

作为本实用新型再进一步的方案:所述接口端圆周外壁的左侧设有等距离分布的固定角铁,且固定角铁的一侧开设有固定孔。

作为本实用新型再进一步的方案:所述电动伸缩杆通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。

本实用新型的有益效果为:

1.通过设置滤光罩和反光镜,光束照射在隔热板上的滤光罩上,可穿过滤光罩的光束照射在反光镜上,反光镜将光束进行反射至隔光套顶部内壁的滤光罩进行再次过滤,并经隔光套顶部内壁的反光镜进行再次反射,反射后的光束经穿孔,经滤光镜的多次过滤,可将光束中不需要的干扰光束进行过滤,保证最终的检测到的图像清晰;

2.通过设置隔热板、水箱和导热垫,电子进入端和接口端之间经多个隔热板的隔热,且穿孔与电子进入端错开设置,保证了隔热的效果,导热垫和导热杆将隔光套内的热量传导至水箱内进行散热;

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