[实用新型]一种低碳、无油大抽速真空抽气机组

说明书

本实用新型揭露一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其包括真空腔体及设置于所述真空腔体内的第一真空阀，第一真空阀将所述真空腔体分割成真空室和高真空泵室两部分，真空室与放气阀、第一真空规相接通，真空室经第二真空阀与粗真空抽气机组连接，高真空泵室还与径流分子泵相连接，径流分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接，高真空泵室内设置有单冷水汽捕集泵和电弧吸附泵。本实用新型的低碳、无油大抽速真空抽气机组，显著提升该真空抽气系统的抽速利用率，该真空抽气机组具有大抽速、低能耗、无油蒸汽污染，具有取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵机组的抽气能力。

技术领域

本实用新型属于真空技术领域，尤其涉及一种低碳、无油大抽速真空抽气机组。

背景技术

传统大型工业高真空设备，普遍采用大型扩散泵机组抽气，该泵利用油蒸汽喷射流抽气，存在能耗高，油蒸汽污染严重，启动时间长(约1小时) 等一系列缺点和不能间断抽气等缺点。

近年来，部分高真空设备采用POLYCOLD(一种在-120℃低温和室温之间高频度转换的水汽捕集泵)辅助扩散泵抽气机组抽气，取得了抽气时间缩短，油蒸汽污染降低的较好效果。然而，POLYCOLD的设备费用和能耗成倍增加，加上油蒸汽污染源头—扩散泵，依旧存在，油蒸汽污染无法消除，因此，未能大范围推广应用。

于2018年5月15日中国专利公开号CN207363840U公开了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，提供了一种采用单冷制水汽泵+径流分子泵机组取代扩散泵机组一种降低设备能耗，消除油蒸汽污染的方案，未提供具体的结构方案和高真空阀等主要部件的选用要求，影响了所述专利技术的推广应用。

鉴于此，本实用新型提供一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，以克服上述部分问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，以克服上述部分问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的一个技术方案是：该低碳、无油大抽速真空抽气机组包括真空腔体及第一真空阀，所述真空腔体包括第一腔体以及经所述第一腔体向外延伸形成的第二腔体，所述第一真空阀设置于所述第二腔体并将所述真空腔体分隔成真空室和高真空泵室两部分，所述真空室与放气阀、第一真空规相接通，所述真空室经第二真空阀与粗真空抽气机组连接，所述高真空泵室与径流分子泵相连接，所述径流分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接。

所述第一腔体的体积大于所述第二腔体的体积。

所述第一真空阀采用翻板真空阀，所述翻板真空阀关闭后与所述第二腔体相垂直并将所述第二腔体分隔成所述高真空泵室和附加腔体，所述附加腔体与所述第一腔体互相连通形成所述真空室。

所述第一真空阀一端设有轴孔，所述第二腔体内设置有轴，所述轴穿过所述轴孔致使所述第一真空阀的一端活动固定于所述第二腔体内。

所述第一真空阀绕所述轴旋转实现所述真空室和所述高真空泵室的连通或分隔。

所述高真空泵室的下方向外突出形成收容槽。

所述收容槽内设置有若干并联的电弧吸附泵。

所述高真空泵室内设置有单冷水汽捕集泵。

与现有技术相比，本实用新型一种低碳、无油大抽速真空抽气机组的有益效果：所述第一真空阀采用翻板真空阀取代传统真空阀，第一真空阀绕所述轴旋转实现真空室和高真空泵室的连通或分隔，避免高真空泵室内的水汽捕集泵暴露大气中，降低流导损耗，提高有效抽速，节省成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本实用新型实施例一提供的低碳、无油大抽速径流分子泵真空抽气机组；