[实用新型]气体混合装置和镀膜系统有效
| 申请号： | 201821972370.1 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN209752638U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王正安 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F5/06;C23C16/455 |
| 代理公司： | 11447 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 吴国栋;陈庆超 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔板 通气孔 混合区 出气孔 充分混合 相错设置 进气孔 穿过 排出 体内 气体混合装置 镀膜系统 气体分布 气体混合 腔体分隔 曲线运动 一次气体 再分布 两层 腔体 | ||
1.一种气体混合装置，其特征在于，包括具有进气孔(11)和出气孔(12)的腔体(1)，所述腔体(1)内设置有多个隔板(40)以将所述腔体(1)分隔为多个混合区，每个所述隔板(40)上开设有通气孔(401)，且相邻两个所述隔板(40)上的所述通气孔(401)相错设置，由所述进气孔(11)进入到所述腔体(1)内的气体依次流经各个所述混合区并从所述出气孔(12)排出。
2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，多个所述混合区上下排布，所述出气孔(12)设置在所述腔体(1)的顶部，以使气体自下至上流动。
3.根据权利要求2所述的气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置还包括密封连接在所述进气孔(11)处的进气管(2)和密封连接在所述出气孔(12)处的出气管(3)，所述进气管(2)设置在所述腔体(1)的顶部，所述进气管(2)依次穿过多个所述隔板(40)并伸入到最下方的所述混合区中。
4.根据权利要求3所述的气体混合装置，其特征在于，所述进气管(2)与被其穿过的所述隔板(40)过盈配合。
5.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置还包括密封连接在所述进气孔(11)处的进气管(2)和密封连接在所述出气孔(12)处的出气管(3)，所述进气管(2)的位于所述腔体(1)外的部分通过三通接头(5)与进气分管(6)相连接，以向所述腔体(1)中通入多种气体。
6.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述腔体(1)的内壁开设有凹槽，所述隔板(40)伸入到所述凹槽中，并密封连接。
7.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述隔板(40)内部铺设有热管换热器，以调节待混合的气体的温度。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的气体混合装置，其特征在于，所述隔板(40)上开设有多圈所述通气孔(401)。
9.根据权利要求8所述的气体混合装置，其特征在于，在气体依次流过多个所述混合区的方向上，多个所述隔板(40)上的所述通气孔(401)的圈数渐增。
10.一种镀膜系统，包括具有镀膜室的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机连接有根据权利要求1-9中任一项所述的气体混合装置，以使镀膜用气体经由所述气体混合装置后流入所述镀膜室。
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