[实用新型]天车的轨道装置以及物料搬送装置

说明书

本公开提供了一种天车的轨道装置以及物料搬送装置，涉及半导体技术领域。该天车的顶部设有导向轮，天车两侧的底部设有走行轮，而该轨道装置包括导向轨道和走行轨道。其中，导向轨道包括导向主道和导向岔道；导向主道包括平行设置的第一导向支道和第二导向支道；导向岔道连接于第一导向支道和第二导向支道之间，用于引导导向轮由第一导向支道和第二导向支道中的一个移动至另一个；走行轨道设于导向轨道远离安装面的一侧，包括走行岔道以及并排设置的第一走行主道和第二走行主道；走行岔道用于引导走行轮由第一走行主道和第二走行主道中的一个移动至另一个。该轨道装置可使天车沿一个方向运行时能在两个走行主道间切换，并提高了天车的搬送效率。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种天车的轨道装置以及物料搬送装置。

背景技术

随着半导体技术的发展，自动物料搬送系统连接各个制造模块、输送硅片、并作为纽带的重要性日益凸显。自动物料搬送系统中的轨道包括并排设置的两条轨道，并固定悬挂于天花板，用来引导搬送硅片的天车行走。天车在轨道上行走时，经常需要切换路线，即从一条轨道切换到另一条轨道。

现有技术中，天车沿一条轨道在一个运行方向上行走，天车能切换到另一条轨道，但如果运行方向相反，则天车无法切。如果这条轨道上出现堵车，则天车只能堵积，无法运行，进而降低了搬送效率。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种天车的轨道装置以及物料搬送装置，使天车沿一个方向运行时能在两个轨道间切换，并提高了搬送效率。

为实现上述发明目的，本公开采用如下技术方案：

根据本公开的一个方面，提供一种天车的轨道装置。该天车的顶部设有导向轮，所述天车两侧的底部设有走行轮，而该轨道装置包括导向轨道和走行轨道。其中：导向轨道能设于一安装面，包括导向主道和导向岔道；所述导向主道包括平行设置的第一导向支道和第二导向支道；所述导向岔道连接于所述第一导向支道和所述第二导向支道之间，用于引导所述导向轮由所述第一导向支道和所述第二导向支道中的一个移动至另一个；走行轨道设于所述导向轨道远离所述安装面的一侧，所述走行轨道包括走行岔道以及并排设置的第一走行主道和第二走行主道；所述走行岔道用于引导所述走行轮由所述第一走行主道和所述第二走行主道中的一个移动至另一个。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一走行主道包括能与所述天车两侧的走行轮配合的第一支道和第二支道；所述第二走行主道包括能与所述天车两侧的走行轮配合的第三支道和第四支道；

所述第一支道和所述第三支道平行于所述导向主道；所述第二支道和所述第四支道位于所述第一支道和所述第三支道之间；所述第二支道具有第一断口，所述第一断口的第一端和第二端向所述第三支道弯曲，所述第四支道具有第二断口，所述第二断口的第一端和第二端向所述第一支道弯曲；

所述走行岔道设于所述第一支道和所述第三支道之间，且包括第一岔道和第二岔道；所述第一岔道能在第一位置和第二位置间转动，且在转动至所述第一位置时，所述第一岔道与所述第一断口的第一端对接，并向所述第三支道延伸，在转动至所述第二位置时，与所述第二断口的第一端对接并向所述第一支道延伸；所述第二岔道能在第三位置和第四位置间转动，且在转动至所述第三位置时，与所述第二断口的第二端对接并向所述第一支道延伸，在转动至所述第四位置时，与所述第一断口的第二端对接并向所述第三支道延伸。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一断口的第一端和第二端均沿弧形轨迹向所述第三支道弯曲；所述第二断口的第一端和第二端均沿弧形轨迹向所述第一支道弯曲；所述第一岔道和所述第二岔道均沿直线轨迹延伸。

在本公开的一种示例性实施例中，所述导向岔道包括：