[实用新型]基板承载结构和减压干燥设备

权利要求书

1.一种基板承载结构，其特征在于，包括承载板、支撑柱及重锤块，所述支撑柱包括支撑柱主体和支撑部，所述支撑柱主体活动穿设于所述承载板上，所述支撑柱主体的一端设有所述支撑部，所述支撑柱主体的另一端与所述重锤块连接，以使所述承载板可在所述支撑部和所述重锤块之间移动。

2.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，所述重锤块的质量是所述支撑柱的质量的9～11倍。

3.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，所述重锤块的形状为圆柱体，半径为10mm～20mm，高度为30mm～50mm。

4.根据权利要求3所述的基板承载结构，其特征在于，所述支撑柱主体的形状为圆柱体，半径为1mm～3mm，所述支撑柱主体的高度与所述重锤块的高度的比为(2～3):1。

5.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，所述承载板靠近所述支撑部的一面设有容纳槽，所述支撑部可收容于所述容纳槽内。

6.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，所述支撑柱主体与所述承载板相互垂直。

7.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，所述支撑柱的数量为多个，多个所述支撑柱平行间隔设置。

8.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，多个所述支撑柱沿所述承载板的边缘间隔分布。

9.一种减压干燥设备，其特征在于，包括干燥室、驱动件和权利要求1～8任一项所述的基板承载结构，所述基板承载结构设于所述干燥室内，所述重锤块位于所述承载板的下方，所述驱动件用于驱动所述承载板在所述干燥室内上升或下降，以使所述承载板在所述支撑部和所述重锤块之间移动或在所述承载板与所述支撑部抵接时带动所述承载板、所述支撑柱及所述重锤块同步运动。

10.根据权利要求9所述的减压干燥设备，其特征在于，还包括冷凝板，所述冷凝板设于所述干燥室内且与所述承载板间隔相对设置。