[实用新型]反应炉

说明书

本实用新型提供了一种反应炉。反应炉包括：反应炉本体，反应炉本体具有进液孔、连通部及出液孔，进液孔通过连通部与出液孔连通，冷媒在连通部内流通，以实现冷媒与反应炉本体之间的换热，连通部包括第一换热通道和多个依次连通的第二换热通道，间隔设置的两个第二换热通道通过第一换热通道连通或断开连通；切换结构，设置在第一换热通道内，切换结构具有使第一换热通道处于连通状态的工作状态和使第一换热通道处于断开连通状态的非工作状态。本实用新型有效地解决了现有技术中反应炉内换热程度不一致、换热效果较差的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种反应炉。

背景技术

目前，半导体行业中反应炉腔体内部需要较高温度以满足工艺要求，若腔体壁板温度过高将发生受热变形产生结构应力，影响传动部件的运行精度。另外，腔体壁板温度较高将会影响外围的部件，如传感器。

在现有技术中，为了减低反应炉腔体壁板的温度，通常在腔体壁板内部开孔通水形成冷却水路，为防止冷却水提前回流，保证冷却水到达腔体壁所有位置，通常将冷却水路设置为单一线路。然而，冷媒在腔体壁板内长时间流动时，导致处于下游的冷媒温度高于处于上游的冷媒温度，导致冷媒对腔体壁板的换热程度不一致，影响了腔体壁板的冷却效果。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种反应炉，以解决现有技术中反应炉的换热程度不一致、影响换热效果的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种反应炉，包括：反应炉本体，反应炉本体具有进液孔、连通部及出液孔，进液孔通过连通部与出液孔连通，冷媒在连通部内流通，以实现冷媒与反应炉本体之间的换热，连通部包括第一换热通道和多个依次连通的第二换热通道，间隔设置的两个第二换热通道通过第一换热通道连通或断开连通；切换结构，设置在第一换热通道内，切换结构具有使第一换热通道处于连通状态的工作状态和使第一换热通道处于断开连通状态的非工作状态。

进一步地，第一换热通道为一个或多个，当第一换热通道为多个时，切换结构为多个，多个切换结构与多个第一换热通道一一对应地设置，间隔设置的两个第二换热通道通过全部第一换热通道连通或断开连通。

进一步地，间隔设置的两个第二换热通道形成一组换热通道组件，第一换热通道为一个或多个，当第一换热通道为多个时，切换结构为多个，多个切换结构与多个第一换热通道一一对应地设置，多个切换结构与多组换热通道组件一一对应地设置；其中，各组换热通道组件均不同或至少一组换热通道中的一个第二换热通道与另一组换热通道中的一个第二换热通道相同。

进一步地，第一换热通道内具有用于安装切换结构的安装部，切换结构与安装部卡接或焊接或螺纹连接或通过紧固件连接。

进一步地，第一换热通道包括顺次连接的第一子通道和第二子通道，切换结构设置在第二子通道内且位于第一子通道和第二子通道的连接处，连接处为安装部；其中，第二子通道靠近处于上游的第二换热通道设置，第一子通道的流量小于第二子通道的流量。

进一步地，切换结构包括：本体，具有第一进液口、第二进液口及过液腔，第一进液口通过过液腔与第一进液口连通；盖体，与本体枢转连接且设置在第二进液口所在位置处，当盖体将第二进液口封堵时，切换结构处于非工作状态；当盖体避让第二进液口时，切换结构处于工作状态；其中，沿冷媒的流向，相比于第一进液口，第二进液口靠近处于上游的第二换热通道设置。

进一步地，第一换热通道还包括锥形通道，第二子通道通过锥形通道与第一子通道连通，本体朝向第一子通道的端面与锥形通道与第二子通道的连接处抵接。

进一步地，第一子通道的横截面为圆形，本体为圆筒状结构，圆筒状结构与第一子通道同轴设置，且圆筒状结构的流量与第一子通道的流量相同。

进一步地，盖体为圆板，切换结构处于非工作状态时，第二进液口在圆板上的正投影位于圆板内，圆板的面积小于第二子通道的横截面积。