[实用新型]气体混合设备

权利要求书

1.一种气体混合设备，其特征在于，包括：

腔体，用于进行气体的混合；

压力控制器，连通至所述腔体，用于调控腔体内的压力；

温控单元，包括加热套，安装至所述腔体，用于调控腔体内的温度；

至少两块导流板，卡设于所述腔体内，设置在所述腔体的入口和出口之间，将所述腔体的入口和出口隔开；

所述导流板设置有通孔，用于供待混合的气体通过，连通所述腔体的入口和出口，且各导流板相对设置，每一导流板对应导流一种待混合的气体。

2.根据权利要求1所述的气体混合设备，其特征在于，所述通孔的个数为多个，均匀分布于所述导流板的表面。

3.根据权利要求1所述的气体混合设备，其特征在于，还包括：

隔板，设置在所述导流板和所述腔体的出口之间，卡设于所述腔体内，用于隔挡流经两块导流板后的气体，防止流经两块导流板后的气体经由所述腔体的出口直接输出；

气体扩散器，安装至所述隔板，设置有气体扩散孔，用于供流经两块导流板后的气体流入至所述隔板另一侧，经由所述腔体的出口输出。

4.根据权利要求1所述的气体混合设备，其特征在于，还包括：

气体管道，具有朝向所述导流板设置的管道口，用于朝向所述导流板喷出待混合的气体，使待混合的气体通过所述导流板上的通孔流出；

每一种待混合的气体对应一气体管道；

每一气体管道用于将一种待混合的气体喷出至一导流板。

5.根据权利要求4所述的气体混合设备，其特征在于，还包括：

第一质量流量控制器，设置于所述气体管道上，用于控制自所述气体管道流入至所述导流板的待混合的气体的流量。

6.根据权利要求1所述的气体混合设备，其特征在于，所述加热套套设于所述腔体的外表面。

7.根据权利要求1所述的气体混合设备，其特征在于，还包括：

混合气体输出管，连通至所述腔体的出口，用于向所述气体混合设备外输出混合气体；

第二质量流量控制器，设置于混合气体输出管上，用于控制所述混合气体输出管向外输出的混合气体的流量。