[实用新型]电解制砷烷装置

权利要求书

1.一种电解制砷烷装置，所述电解制砷烷装置包括：

阴极室(10)，所述阴极室(10)的阴极电解液为三氧化二砷饱和水溶液，所述阴极室(10)的阴极为非牺牲性金属，所述阴极室(10)电解产生包含砷烷和氢气的混合气；

阳极室(20)，所述阳极室(20)的阳极为非牺牲性金属，所述阳极室(20)电解产生氧气；

其特征在于，所述电解制砷烷装置还包括：

三氧化二砷饱和水溶液供应单元，与所述阴极室(10)相连，

反冲气源，与所述三氧化二砷饱和水溶液供应单元相连以对所述三氧化二砷饱和水溶液供应单元中的三氧化二砷饱和水溶液进行反吹。

2.根据权利要求1所述的电解制砷烷装置，其特征在于，所述三氧化二砷饱和水溶液供应单元包括：

三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)，所述反冲气源与所述三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)相连；

供液管(32)；

回液管(33)，所述三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)、所述供液管(32)、所述回液管(33)与所述阴极室(10)构成循环回路。

3.根据权利要求2所述的电解制砷烷装置，其特征在于，所述三氧化二砷饱和水溶液供应单元还包括第一纯水供应设备(34)，所述三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)与所述第一纯水供应设备(34)通过第一供水管相连。

4.根据权利要求3所述的电解制砷烷装置，其特征在于，所述三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)内还设置有饱和液位传感器(312)，所述第一供水管上设置有第一补水阀(341)，所述饱和液位传感器(312)与所述第一补水阀(341)电连接。

5.根据权利要求2所述的电解制砷烷装置，其特征在于，所述阴极室(10)还设置有阴极液位传感器(11)，所述供液管(32)上设置有供液泵(321)和供液阀(322)，所述阴极液位传感器(11)与所述供液泵(321)和供液阀(322)电连接。

6.根据权利要求1所述的电解制砷烷装置，其特征在于，所述阳极室(20)设置有阳极液位传感器(21)，所述电解制砷烷装置还包括第二纯水供应设备(40)，所述第二纯水供应设备(40)与所述阳极室(20)通过第二供水管相连，所述第二供水管上设置有第二补水阀(41)，所述阳极液位传感器(21)与所述第二补水阀(41)电连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电解制砷烷装置，其特征在于，所述电解制砷烷装置还包括反冲洗管路，所述反冲洗管路包括：

主冲洗管路(51)，一端与所述反冲气源相连；

第一冲洗支管路(52)，一端与所述主冲洗管路(51)相连，另一端延伸至所述三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)的下部；

第二冲洗支管路(53)，一端与所述主冲洗管路(51)相连，另一端延伸至所述阴极室(10)的下部；

第三冲洗支管路(54)，一端与所述主冲洗管路(51)相连，另一端延伸至所述阳极室(20)的下部；

冲洗回路，所述冲洗回路上设置有真空泵(555)，所述冲洗回路与所述三氧化二砷饱和水溶液发生器(31)、所述阴极室(10)和所述阳极室(20)的液面上方的空腔相连。