[实用新型]装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备

说明书

本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备，其中，装卸片装置包括装料机构和卸料机构，装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件，卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装料升降组件以及卸料吸持组件。基于实用新型的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。

技术领域

本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备。

背景技术

磁控溅射镀膜设备中，需要将基片装载至磁控溅射镀膜设备的挂片送料装置，在基片完成镀膜之后，再从挂片送料装置卸离。目前，将基片装载至挂片送料装置以及从挂片送料装置卸离的过程较为复杂，导致装卸效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种装卸片装置，其旨在解决装卸效率低的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，所述装卸片装置包括：

装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；

卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。

基于本实用新型的结构设计，粘附有基片的基片架随载料小车将反复依次经过待装工位、待卸工位。其中，当需要装料时，首先，使装料驱动组件位于待装工位，其次，在载料小车将运载至待装工位时，装料驱动组件使装料抓爪置入挂料孔，再次，装料升降组件驱动装料驱动组件从待装工位上升到装料工位，最后，卸料吸持组件真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至基片架后撤销对基片的吸持。而当要卸料时，首先，使卸料驱动组件位于待卸工位，其次，在载料小车将运载至待卸工位时，卸料驱动组件使卸料抓爪置入挂料孔，再次，卸料升降组件驱动卸料驱动组件从待卸工位上升到卸料工位，最后，卸料吸持组件用于真空吸持基片并将基片取离基片架且将基片移至预设位置后撤销对基片的吸持。由此，基于实用新型的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的装卸片装置应用于磁控溅射镀膜设备的整体俯视图；

图2是本实用新型实施例提供的装卸片装置的侧视图；

图3是本实用新型实施例提供的装卸片装置的装料升降组件、装料抓爪和装料驱动组件的结构示意图；