[实用新型]一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置

权利要求书

1.一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，包括阴极总成(1)、氩气输入总成(3)、反应气输入总成(5)、不锈钢连接环(7)和阳极总成(8)；其特征在于，所述阴极总成(1)与氩气输入总成(3)螺纹连接，阴极总成(1)与氩气输入总成(3)螺纹连接处套设有聚四氟乙烯密封圈(2)；所述氩气输入总成(3)通过螺栓固定的方式与反应气输入总成(5)固定连接，氩气输入总成(3)与反应气输入总成(5)连接处套设有硅橡胶密封垫圈(4)；所述反应气输入总成(5)与阳极总成(8)通过不锈钢连接环(7)固定连接，反应气输入总成(5)与阳极总成(8)之间通过聚四氟乙烯垫片(6)密封。

2.根据权利要求1所述的一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，其特征在于，所述阴极总成(1)设有第一冷却机构，第一冷却机构包括水冷外套(102)，水冷外套(102)内设有水冷内套(103)，水冷内套(103)连通有冷却水进口管(104)，冷却水进口管(104)与水冷内套(103)焊接密封，冷却水进口管(104)延伸至水冷外套(102)外侧，水冷外套(102)与水冷内套(103)之间设有呈圆周分布的切线回水槽(1031)，水冷外套(102)连通有冷却水出口管(105)，冷却水出口管(105)与水冷外套(102)焊接密封；所述水冷外套(102)下端套接有阴极堵帽(107)，阴极堵帽(107)与水冷外套(102)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，其特征在于，所述反应气输入总成(5)设有第二冷却机构，第二冷却机构包括水冷集束分割件(504)，反应气输入总成(5)包括反应气输入构件基体(501)，反应气输入构件基体(501)上端嵌套有水冷集束分割件(504)，水冷集束分割件(504)与反应气输入构件基体(501)之间嵌套有氟橡胶密封圈(506)；所述水冷集束分割件(504)为环形冷却构件，水冷集束分割件(504)设有拦水隔断(5043)，水冷集束分割件(504)位于拦水隔断(5043)一侧设有冷水进口(5041)，水冷集束分割件(504)位于拦水隔断(5043)另一侧设有冷水出口(5042)，反应气输入构件基体(501)设有并列冷却水进出口(502)，冷水进口(5041)和冷水出口(5042)分别与并列冷却水进出口(502)连通。

4.根据权利要求1所述的一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，其特征在于，所述阳极总成(8)设有第三冷却机构，阳极总成(8)包括阳极导流芯(801)，第三冷却机构包括设置在阳极导流芯(801)下端的冷水进口管(807)，阳极导流芯(801)内设有螺旋导水槽(8011)，冷水进口管(807)与螺旋导水槽(8011)连通；所述阳极导流芯(801)外侧套设有夹层水冷外套(805)，夹层水冷外套(805)上端与螺旋导水槽(8011)上端连通，夹层水冷外套(805)下端设有冷水出口管(806)；所述阳极导流芯(801)外侧套设有第二绝缘环(802),第二绝缘环(802)下方套设有螺纹紧固环(804)，螺纹紧固环(804)与夹层水冷外套(805)螺纹连接，螺纹紧固环(804)与第二绝缘环(802)之间设有垫片(803)；所述阳极导流芯(801)和夹层水冷外套(805)上端连接处设有上密封圈(809)，阳极导流芯(801)下端外套的冷却水进出环上设有阳极电极(808)，阳极电极(808)与阳极导流芯(801)之间设有下密封圈(810)。

5.根据权利要求1所述的一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，其特征在于，所述氩气输入总成(3)包括氩气输入入口(301)；氩气输入入口(301)固定连接有氩气输入构件基体(309)，氩气输入构件基体(309)内嵌套有第一绝缘环(303)，第一绝缘环(303)下端开设有呈圆周分布的切线进气孔(3031)；所述反应气输入构件基体(501)连通有反应气入口(503)，反应气输入构件基体(501)内嵌套有切线进气导流环(505)，切线进气导流环(505)与反应气输入构件基体(501)之间抵接有密封垫片(507)。