[实用新型]透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置

权利要求书

1.一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，包括：样品杆、转接密封带法兰套管、带套管密封法兰、X-Y-Z三维滑台、旋转滑台和滑台支架，具体结构如下：

样品杆的尾端直径较样品杆的其他部分直径大，转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端外侧，转接密封带法兰套管内壁与样品杆间使用O型密封圈进行真空密封；转接密封带法兰套管置于带套管密封法兰的波纹管套管内，转接密封带法兰套管外壁使用O型密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封；带套管密封法兰为密封法兰与波纹管套管组成，二者采用焊接的方式实现真空密封，密封法兰与波纹管套管的中心孔相对应；X-Y-Z三维滑台通过滑台支架固定在带套管密封法兰上，实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转；旋转滑台、滑台支架的左立板、带套管密封法兰的波纹管套管套装于转接密封带法兰套管上，密封法兰固定在透射、扫描或者聚焦离子束电镜主腔体内壁。

2.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，样品杆的尾端外侧开设螺纹盲孔和沟槽，螺纹盲孔为两个以上沿圆周方向均匀分布，沟槽沿圆周方向开设，沟槽内安装O型密封圈。

3.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，转接密封带法兰套管为法兰与套管的组合结构，套管的外侧开设定位孔和外沟槽，定位孔为两个以上沿圆周方向均匀分布，定位孔与螺纹盲孔一一对应，螺栓穿设于定位孔和螺纹盲孔，使转接密封带法兰套管与样品杆的尾端连接；外沟槽沿圆周方向开设，外沟槽内安装O型密封圈，波纹管套管内壁开设沟槽与外沟槽相对应；套管的中心孔为具有台阶结构的阶梯孔，阶梯孔中的大孔与样品杆直径较大的尾端配合，阶梯孔中的小孔与样品杆直径较小的部分配合，阶梯孔中的大孔壁沿圆周方向开设内沟槽，样品杆的沟槽与内沟槽相对应，并通过接触挤压O型密封圈实现真空密封。

4.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，转接密封带法兰套管的一端伸至波纹管套管内，转接密封带法兰套管的套管外壁与波纹管套管通过O型密封圈进行真空密封；波纹管套管的一端与滑台支架连接，波纹管套管的另一端通过焊接的方式与密封法兰的一端进行组合，密封法兰的另一端通过胶圈或金属密封的方式与透射、扫描或者聚焦离子束电镜的样品舱侧壁相连。

5.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，滑台支架包括两个相对平行设置的立板：左立板和右立板，左立板和右立板通过螺丝钉或者焊接的方式分别与密封法兰和波纹管套管进行空间位置固定；其中，左立板上部与波纹管套管的端面连接，左立板与波纹管套管连接处的中心孔相对应且直径相同，右立板上部与密封法兰连接。

6.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，X-Y-Z三维滑台通过螺丝钉固定的方式固定在滑台支架两个立板下部之间。

7.按照权利要求1所述的透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，旋转滑台套装于转接密封带法兰套管的套管上，其一端与转接密封带法兰套管的法兰靠接；旋转滑台的另一端与滑台支架的一端靠接，使旋转滑台位于滑台支架和转接密封带法兰套管之间，通过操作旋转滑台，带动转接密封带法兰套管进行360°的绕轴旋转，进而带动样品杆的转动。