[实用新型]一种圆片点边晶治具有效

申请号：	201821996646.X	申请日：	2018-11-30
公开（公告）号：	CN209298072U	公开（公告）日：	2019-08-23
发明（设计）人：	翟海峰;张旭东	申请（专利权）人：	江苏长电科技股份有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67
代理公司：	北京中济纬天专利代理有限公司 11429	代理人：	赵海波;孙燕波
地址：	214400 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	横向支架圆片治具本实用新型调整滑槽环形滑槽环形支架滑块背面设置人员使用
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【权利要求书】：

1.一种圆片点边晶治具，其特征在于：它包括环形支架(1)、横向支架(2)和点除笔(3)，所述环形支架(1)上开设有环形滑槽(11)，所述横向支架(2)背面设置有左右两个滑块(23)，所述滑块(23)设置于环形滑槽(11)内，所述横向支架(2)一侧开设有调整滑槽(21)，所述点除笔(3)设置于调整滑槽(21)内。

2.根据权利要求1所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：所述环形滑槽(11)呈倒T型，所述滑块(23)也呈倒T型，倒T型的滑块(23)契入倒T型的环形滑槽(11)内。

3.根据权利要求1所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：所述环形滑槽(11)沿直径方向设置有左右两个安装缺口(12)。

4.根据权利要求1所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：所述环形支架(1)背面内环边缘设置有一圈定位支点(13)。

5.根据权利要求1所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：左右两个滑块(23)的间距与环形滑槽(11)的直径相配合。

6.根据权利要求1所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：所述调整滑槽(21)一侧设置有刻度尺(22)。

7.根据权利要求1所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：所述点除笔(3)下部设置有固定凸块(31)，所述点除笔(3)通过固定凸块(31)和锁紧旋钮(4)固定设置于调整滑槽(21)内。

8.根据权利要求7所述的一种圆片点边晶治具，其特征在于：所述固定凸块(31)上设置有指示尖部(32)。

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