[实用新型]激光切割设备及其激光光束整形装置有效
申请号: | 201821996738.8 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN209148979U | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 陈畅;柳啸;杨深明;李福海;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B27/42 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 椭圆形光斑 激光光束整形装置 负透镜 激光切割设备 衍射光学元件 正透镜 本实用新型 光束聚焦 激光切割 聚焦镜 整形 切割 聚焦 穿过 扩散 转换 | ||
1.一种激光光束整形装置,其特征在于,包括:
正透镜,用于将光束聚焦整形为椭圆形光斑;
负透镜,用于将所述椭圆形光斑扩散;
DOE衍射光学元件,位于所述负透镜远离所述正透镜的一侧,且用于将穿过所述负透镜的椭圆形光斑转换为至少两个部分重叠或全部重叠的椭圆形光斑;及
聚焦镜,位于所述DOE衍射光学元件远离所述负透镜的一侧,且用于将所述至少两个椭圆形光斑聚焦。
2.根据权利要求1所述的激光光束整形装置,其特征在于,所述DOE衍射光学元件转换出三个椭圆形光斑,三个所述椭圆形光斑沿所述DOE衍射光学元件的光轴间隔分布。
3.根据权利要求1所述的激光光束整形装置,其特征在于,所述正透镜、所述负透镜和所述DOE衍射光学元件表面上设有增透膜,所述增透膜的波长为0.2μm~10.6μm。
4.根据权利要求1所述的激光光束整形装置,其特征在于,所述正透镜为凸面柱透镜,所述负透镜为凹面柱透镜。
5.根据权利要求4所述的激光光束整形装置,其特征在于,所述凸面柱透镜底面的长度尺寸为20mm~35mm,宽度尺寸为20mm~30mm,所述凸面柱透镜的边缘厚度尺寸为3mm~4mm,中间厚度尺寸为4.5mm~6.5mm。
6.根据权利要求4所述的激光光束整形装置,其特征在于,所述凹面柱透镜底面的长度尺寸为20mm~35mm,宽度尺寸为20mm~30mm,所述凹面柱透镜的边缘厚度尺寸为6mm~8mm,中间厚度尺寸为4.5mm~5.5mm。
7.根据权利要求1所述的激光光束整形装置,其特征在于,所述正透镜沿光轴的焦距为f1,所述负透镜沿光轴的焦距为f2,且满足:-1.5<f1/f2<-3.5。
8.根据权利要求1所述的激光光束整形装置,其特征在于,还包括镜筒和滑轨,所述镜筒内部中空且两端均设有与内部连通的开口,两个所述开口相对设置,所述滑轨设于所述镜筒内,所述正透镜、所述负透镜和所述DOE衍射光学元件可滑动的设于所述滑轨上,所述聚焦镜设于所述镜筒内或所述开口外。
9.根据权利要求8所述的激光光束整形装置,其特征在于,还包括螺旋测微器,所述螺旋测微器设于所述镜筒内,并用于测量所述正透镜、所述负透镜和所述DOE衍射光学元件的滑动距离。
10.一种激光切割设备,其特征在于,包括:
激光器;
如权利要求1至9中任一项所述的激光光束整形装置,用于将所述激光器发出的激光整形为至少两个部分重叠或全部重叠的椭圆形光斑。
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