[实用新型]一种晶圆匣

说明书

本实用新型公开了一种晶圆匣，包括主体框架，所述主体框架内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨固定安装于所述主体框架的外框内侧壁上的放置架，所述放置架一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆，所述U型杆的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架端侧的两个插入孔内，所述U型杆的横杆上设置有对位点。本实用新型的目的晶圆匣方便放置晶片，且效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆匣。

背景技术

现有的常规8英寸wafer cassette在装取过程中wafer容易发生碰撞，使用方便，降低工作效率，浪费时间，增加人工成本。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆匣，方便放置晶片。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆匣，包括主体框架，所述主体框架内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨固定安装于所述主体框架的外框内侧壁上的放置架，所述放置架一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆，所述U型杆的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架端侧的两个插入孔内，所述U型杆的横杆上设置有对位点。

进一步的，所述主体框架内设置有15层放置区。

进一步的，所述主体框架内等间距设置有15层放置区。

进一步的，所述主体框架的每层的外框内侧壁上设置有凹槽，所述滑轨契合于所述凹槽内。

进一步的，每层的所述滑轨延伸长度一致。

进一步的，所述滑轨由螺钉固定。

进一步的，所述滑轨上沿抽拉方向的末端设置有卡扣以确保滑轨在延伸至一定长度后无法继续延伸。

进一步的，所述放置架包括分别对称安装于滑轨上的弧形架。

进一步的，所述滑轨包括滑动配合的第一滑轨和第二滑轨，为本领域常见结构，如抽屉上实现抽拉所用的滑轨。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：

1、装有滑轨可以节省装载wafer时间，减少操作者调整时间；

2、装有滑轨可消除装载wafer时发生磕碰的可能性；

3、自带Notch对位装置，可抽动，不会影响机械手取片。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型晶圆的的结构示意图；

图2为放置区的结构示意图。

附图标记说明：1、框架主体；2、外框；3、放置架；4、滑轨；5、定位点； 6、U型杆。

具体实施方式

如图1和2所示，一种晶圆匣，包括主体框架1，所述主体框架1内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨4固定安装于所述主体框架1的外框2 内侧壁上的放置架3，所述放置架3一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U 型杆6，所述U型杆6的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架3端侧的两个插入孔内，所述U型杆6的横杆上设置有对位点5。

根据需要，所述主体框架1内等间距设置有15层放置区。