[实用新型]用于固定石英晶片镀膜夹具的托架

说明书

本实用新型涉及石英晶片镀膜领域，具体公开了一种用于固定石英晶片镀膜夹具的托架，所述托架整体呈板状，所述托架包括一底座，所述底座上设有若干条均匀设置的安装条，所述安装条两两在其相对的面设有开槽，所述开槽为用于安装石英晶片镀膜夹具的导槽。与现有技术比较，本实用新型结构简单，制备成本低，采用滑槽的方式实现镀膜夹具的安装拆卸，便于操作者操作，大大提高了操作者的装卸速，本实用新型能同时安装多个镀膜夹具，能有效提高镀膜效率。

技术领域

本实用新型涉及石英晶片镀膜领域，具体涉及一种用于固定石英晶片镀膜夹具的托架。

背景技术

在石英晶体谐振器生产过程中，镀膜是最重要的工序之一，其效率的提升一直是石英晶片生产厂家的重点项目。石英晶片镀膜工序主要是利用溅射原理，溅射镀膜就是在真空环镜中，利用荷能粒子轰击靶材表面，使被轰击出的粒子沉积在石英晶片上的技术。

镀膜设备中的石英晶片镀膜托架的设计好坏，对于镀膜设备的效率影响非常大。目前，镀膜夹具通常是通过采用螺栓固定的方式固定在镀膜托架上，在实际使用中，安装和拆卸都需要花费很多时间，大大影响了镀膜设备的效率。

实用新型内容

为克服现有的技术缺陷，本实用新型提供了一种结构简单、便于快速装卸镀膜夹具、镀膜效率高的用于固定石英晶片镀膜夹具的托架。

为实现本实用新型的目的，采用以下技术方案予以实现：

一种用于固定石英晶片镀膜夹具的托架，所述托架整体呈板状，所述托架包括底座，所述底座上设有若干条均匀设置的安装条，所述安装条两两在其相对的面设有开槽，所述开槽为用于安装石英晶片镀膜夹具的导槽。

由于托架在镀膜设备中通常是竖立放置，因此本方案可以不用在顶部设置挡条。当然，在一定情况下也是可以在托架顶部增加一挡条，避免镀膜夹具从托架中脱出。

本实用新型提供了一种结构简单的用于固定石英晶片镀膜夹具的托架，能有效实现对镀膜夹具的固定，且该托架制造成本低。

本实用新型通过采用滑槽的方式，在实际安装石英晶片镀膜夹具时，只需将石英晶片镀膜夹具沿着安装条的开槽下滑至底部，在需要卸下石英晶片镀膜夹具时，只需将石英晶片镀膜夹具沿着安装条的开槽上滑出取出即可，无需担心安装过程中会出现遮挡镀膜夹具上的电极孔，便于操作者快速装卸镀膜夹具，且保证了镀膜质量。

现有技术中的托架多是每格固定一个镀膜夹具，当需要提高镀膜效率时，则通常都采用横向增加格数以增加镀膜夹具的方式，但是由于镀膜设备的宽度限制，这种方式对于镀膜效率的提高非常有限。而本方案可以通过延长安装条的高度，即可实现每组安装条（两相对开设有开槽的安装条为一组）安装多个镀膜夹具，同时设置多组安装条，如此，能够大大提升了镀膜效率。

作为一种优选的实施方案，所述安装条的宽度≤10 mm。由于在每次镀膜时安装条都会镀上金属，因此本方案通过限定安装条的宽度，降低镀膜材料的无效耗用率。

其中，镀膜夹具可以设置横向插入托架中，也可以是纵向插入托架中。

作为一种优选的实施方案，托架设置镀膜夹具所述安装条的高度h为镀膜夹具高度H的N倍，N≥2；两相对的所述开槽的间距l等于镀膜夹具的长度L。

作为一种优选的实施方案，所述安装条的高度h为镀膜夹具的长度L的M倍，M≥2；两相对的所述开槽的间距l等于镀膜夹具高度H。