[实用新型]石英晶片镀膜治具

权利要求书

1.一种石英晶片镀膜治具，其特征在于，包括托架(10)和镀膜夹具(20)；

所述托架(10)包括底座(101)，所述底座(101)上设有若干条均匀设置的安装条(102)，

所述安装条(102)两两在其相对的面设有开槽(1021)；

所述镀膜夹具(20)包括若干石英晶片镀膜工位，所述石英晶片镀膜工位呈阵列分布；

所述镀膜夹具(20)沿着所述开槽(1021)安装到所述托架(10)上。

2.根据权利要求1所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述镀膜夹具(20)包括固定板(201)和面盖板(205)，所述固定板(201)和所述面盖板(205)之间自下而上依次贴合有下电极板(202)、晶片限位板(203)和上电极板(204)；

所述晶片限位板(203)上开设有多个晶片限位孔(208)，所述上电极板(204)和所述下电极板(202)在与所述晶片开槽对应处设有电极孔(207)；

所述固定板(201)包括第一边框，所述面盖板(205)包括与第一边框相对应的第二边框；所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔(206)，磁石孔(206)中安装于磁石，所述第二边框/所述第一边框能吸附于磁石；

所述下电极板(202)、晶片限位板(203)和上电极板(204)在与所述磁石孔(206)对应的位置处设有通孔或镂空结构。

3.根据权利要求2所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述晶片限位孔(208)和所述电极孔(207)分多个区域分布；

所述固定板(201)还包括设于所述第一边框内、用于分隔所述区域的第一增强筋，所述面盖板(205)还包括与所述第一增强筋相对应的第二增强筋；所述第一增强筋/所述第二增强筋上设于磁石孔(206)，磁石孔(206)中安装于磁石；所述第二增强筋/所述第一增强筋能吸附于磁石；

下电极板(202)、晶片限位板(203)以及上电极板(204)上的相邻的所述区域之间设有与所述磁石孔(206)对应的通孔或镂空结构。

4.根据权利要求3所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，每个区域的晶片限位孔≤8行。

5.根据权利要求4所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述晶片限位孔(208)和所述电极孔(207)分2～5个区域分布。

6.根据权利要求2所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述固定板(201)上设有定位销(209)，所述下电极板(202)、晶片限位板(203)、上电极板(204)和面盖板(205)在与所述定位销(209)相对应的位置处设置有开孔(210)。

7.根据权利要求2～6任一项所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述固定板(201)上设有磁石孔(206)，磁石孔(206)中安装于磁石；所述面盖板(205)为钢片。

8.根据权利要求1～6任一项所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述安装条(102)的宽度≤10mm。

9.根据权利要求8所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述安装条(102)的高度h为镀膜夹具(20)高度H的N倍，N≥2，两相对的所述开槽(1021)的间距1等于镀膜夹具的长度L；

或所述安装条(102)的高度h为镀膜夹具(20)的长度L的M倍，M≥2；两相对的所述开槽(1021)的间距l等于镀膜夹具高度H。

10.根据权利要求8所述的石英晶片镀膜治具，其特征在于，所述安装条(102)高度为164mm，两相对的所述开槽(1021)的间距为95.5mm。