[实用新型]一种六轴机器人辅助目检硅片装置

说明书

本实用新型提供了一种六轴机器人辅助目检硅片装置，包括框架、六轴机器人、辅助灯具和片篮，硅片放置在片篮中，六轴机器人、辅助灯具和片篮均位于框架内，辅助灯具包括荧光灯、条形灯、强光灯和光栅，六轴机器人与框架上底座连接，荧光灯和条形灯设置在框架顶上，且位于片篮上方，强光灯固定设置在片篮上面，强光灯的一侧竖直设置有光栅，六轴机器人与六轴鼠标连接。本实用新型利用六轴机器人辅助目检硅片表面质量，采用辅助目检方法，增加检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率。

技术领域

本实用新型属于半导体硅片检测装置领域，尤其是涉及一种六轴机器人辅助目检硅片装置。

背景技术

在半导体硅单晶制造领域中,硅片手动目检，会直接影响产品合格率。现有测试技术检测硅片表面质量的缺点在于会产生人为目检误差，甚至会误操作。通过辅助目检设备的集成优化，可以减少人为目检误差，提高自动化程度。由此可见，准确、快速地目检硅片是否合格对批量目检硅片表面质量具有非常重要的应用价值。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种六轴机器人辅助目检硅片装置，利用六轴机器人辅助目检硅片表面质量，采用辅助目检方法，增加检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种六轴机器人辅助目检硅片装置，包括框架、六轴机器人、辅助灯具和片篮，硅片放置在片篮中，六轴机器人、辅助灯具和片篮均位于框架内，辅助灯具包括荧光灯、条形灯、强光灯和光栅，六轴机器人与框架上底座连接，荧光灯和条形灯设置在框架顶上，且位于片篮上方，强光灯固定设置在片篮上面，强光灯的一侧竖直设置有光栅，六轴机器人与六轴鼠标连接。六轴机器人可使硅片沿6个自由度转动和移动，控制硅片摆放位置。辅助灯具观测并识别硅片，当出现识别偏差时，人工利用六轴鼠标调节硅片摆放，对其进行识别，实现自动检测。

进一步的，强光灯的灯头倾斜向下，照射在从片篮取出的硅片上。

进一步的，强光灯的灯头位置向下倾斜60°。

进一步的，光栅型号F3SJ-A0295N30，厂家：欧姆龙。

进一步的，荧光灯型号TL5-HE-14W830，厂家：飞利浦。

进一步的，条形灯型号为HX-30120-38W，品牌环祥。

进一步的，六轴鼠标包括陀螺仪和惯性计。每个人观测角度不同，自动记录其高频出现的位置；另一个人观测自动记录另一个其高频出现的位置，不同角度的相互切换，便于每个人的重复性操作。

一种六轴机器人辅助目检硅片装置辅助目检的方法，包括如下步骤：

步骤一：六轴机器人由HOME位置运动至右侧装满硅片的片篮工位，吸取硅片；

步骤二：六轴机器人跟随六轴鼠标随动，不断调节硅片的摆放位置，经过大量的学习，记录硅片出现的高频位置，便于人工不断进行操作；

步骤三：然后将取到的硅片分别送到指定位置，摆放位置出现偏差时，六轴机器人控制权交由人工六轴鼠标操控并记录，便于下次的自动控制；

步骤四：人工操控六轴机器人完成检测后系统操作权限交由六轴机器人自动控制；人工按下合格或不合格按钮；

步骤五：合格的产品放到合格篮，不合格的放置到不合格篮，如此循环。

相对于现有技术，本实用新型所述的六轴机器人辅助目检硅片装置具有以下优势：

本实用新型所述的六轴机器人辅助目检硅片装置，可以实现硅片在各个角度、各种灯光下目检，有效地避免了人为目检误差、出错率高、采集不确定性等弊端，提高目检准确度，降低成本，节省时间，提高工作效率。