[实用新型]可读取晶片信息的晶片储存装置有效

专利信息
申请号: 201822011396.6 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN209045504U 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 丁婧婧;王毅 申请(专利权)人: 扬州扬杰电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 代理人: 周全;陶得天
地址: 225008 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 晶片 储存装置 晶片信息 可读取 后续加工 探头 旋转驱动组件 本实用新型 显示器固定 承托组件 储存设备 电池固定 检测结果 可旋转的 驱动套筒 上小下大 锥面状 检测 侧壁 承托 显示器 电池
【说明书】:

可读取晶片信息的晶片储存装置。涉及晶片储存设备领域。提出了一种结构精巧、稳定性好且使用方便,使用后可在对晶片进行稳定承托的同时,方便的识别出晶片的类型,从而有效避免对晶片后续加工带来困扰的可读取晶片信息的晶片储存装置。包括箱体、显示器、检测探头、电池、旋转驱动组件和承托组件,所述显示器固定连接在箱体外,从而显示出检测结果,所述检测探头可旋转的连接在箱体内,所述电池固定连接在箱体的底部;所述驱动套筒的侧壁呈上小下大的锥面状。本实用新型可对晶片的类型进行高效的识别,从而避免了因晶片类型错误而对后续加工带来困扰的问题。

技术领域

本实用新型涉及晶片储存设备领域。

背景技术

在现代晶圆工厂中通常利用晶片盒对同一类型的多个晶片进行存储、转运,在使用过程中,由于不同类型晶片的加工工艺不同,因此,若一个晶片盒中混入了个别不同类型的晶片,则将直接导致该晶片在后续加工中报废,严重的将污染该晶片盒中的所有晶片,更严重的则将面临整条生产线上的晶片被污染,给晶片的后续加工带来了极大的影响。

现有技术中解决办法是将晶片逐个送入专门的机台上进行检测,操作时间极长长,操作步也较为骤繁琐,需要多个部门协同工作,极为麻烦。

发明内容

本实用新型针对以上问题,提出了一种结构精巧、稳定性好且使用方便,使用后可在对晶片进行稳定承托的同时,方便的识别出晶片的类型,从而有效避免对晶片后续加工带来困扰的可读取晶片信息的晶片储存装置。

本实用新型的技术方案为:包括箱体、显示器、检测探头、电池、旋转驱动组件和承托组件,所述显示器固定连接在箱体外,从而显示出检测结果,所述检测探头可旋转的连接在箱体内,所述电池固定连接在箱体的底部;

所述承托组件包括顶板、底板、同步带和三根立柱,所述顶板固定连接在箱体的内壁的顶部,所述底板固定连接在箱体内壁的底部,所述立柱的顶端与顶板铰接、且立柱的底端与底板铰接,三根所述立柱均竖直设置、且三根立柱的间距相等,所述立柱上固定连接有若干承托座,每个所述承托座的顶面上均固定连接有与立柱同轴心的驱动套筒,晶片放入后边缘与驱动套筒相贴合;所述立柱的底部固定连接有带轮,所述同步带呈环状、且绕设在三个带轮上;所述旋转驱动组件连接在箱体内、且用于驱动其中一根立柱旋转。

所述驱动套筒的侧壁呈上小下大的锥面状。

所述旋转驱动组件包括电机和一对传动齿轮,其中一所述立柱为主动立柱,所述电机固定连接在箱体中、且与电池相连接,其中一个传动齿轮固定连接在电机的输出轴上,另一个传动齿轮固定连接在主动立柱上,一对传动齿轮相啮合。

所述旋转驱动组件包括输出电机,其中一所述立柱为主动立柱,所述输出电机固定连接在顶板上、且与主动立柱同轴心,所述主动立柱的底端与底板铰接、且顶端与输出电机的输出轴固定相连。

本实用新型使用时,可先开启检测探头,使其对准其中一个晶片,再开启旋转驱动组件,使得该晶片在立柱以及驱动套筒的影响下带动晶片绕自身轴心旋转,从而使得检测探头在拍摄完一圈该晶片后判断出晶片的类型,并体现在显示器上;此后,可驱使检测探头向上或向下翻转,从而对准下一个晶片,并在拍摄完一圈后将晶片的类型体现在显示器上。最后,操作人员即可在显示屏上方便、直观的看到储存装置中所有晶片的类型,从而可方便、高效的找出与其他类型不一致的晶片,使得晶片无需再逐个送入专门的机台上进行检测,再实现了对晶片的临时储存的同时,可对晶片的类型进行高效的识别,从而避免了因晶片类型错误而对后续加工带来困扰的问题。

附图说明

图1是本案的结构示意图,

图2是图1的俯视图,

图3是图1的A-A向剖视图,

图4是图2是B-B向剖视图;

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