[实用新型]一种波导面耦合模斑转换器

权利要求书

1.一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于包括衬底(1)，绝缘体层(2)，第一光波导(3)，第二光波导(4)，第三光波导(5)、第一支撑体(7)、第二支撑体(8)；

所述绝缘体层(2)与衬底面积相同并置于所述衬底(1)上；所述第一光波导(3)为锥形结构，置于所述绝缘体层(2)上，并且尖端朝向向衬底中部；所述第二光波导(4)为一端矩形结构、另一端锥形结构，置于所述绝缘体层(2)上，其锥形结构部分同矩形结构位于第三光波导(5)矩形结构的内部；所述第三光波导(5)为渐变结构置于所述第二光波导(4)上，并包裹所述第二光波导(4)及所述第一光波导(3)，三个光波导形成多层光波导结构；所述第二光波导(4)、第三光波导(5)的锥形结构相向设置；所述第一光波导(3)与所述第二光波导(4)的锥形结构相对设置；

所述第一支撑体(7)一端为锥形结构、另一端为矩形结构，其长度设置大于第三光波导(5)的矩形结构同方向的长度，并置于所述绝缘体层(2)上；

所述第二支撑体(8)覆盖在所述第一支撑体(7)上，为斜坡式结构，两端为平台，中段为高度渐变的坡度且其长度与衬底的宽度相同；所述第一光波导(3)、第二光波导(4)、第三光波导(5)形成的多层光波导结构置于两个由第一支撑体(7)、第二支撑体(8)构成的支撑体组之间。

2.根据权利要求1所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于：还包括上包层(6)，位于第三光波导(5)上。

3.根据权利要求1所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于：所述衬底(1)为硅。

4.根据权利要求3所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于，所述第一光波导(3)为硅，厚度在300nm以下。

5.根据权利要求1所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于，所述第二光波导(4)为SU-8光刻胶，厚度在6-8um之间，非锥形的一侧宽度在11-13um之间。

6.根据权利要求1所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于，所述第三光波导(5)为SU-8光刻胶，厚度在2-4um之间，非锥形的一侧宽度在11-13um之间。

7.根据权利要求1所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于，所述第一支撑体(7)为SU-8光刻胶，厚度在6-8um之间。

8.根据权利要求1所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于，所述第二支撑体(8)为SU-8光刻胶，厚度在2-4um之间。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的一种波导面耦合模斑转换器，其特征在于，所述第二光波导(4)、所述第三光波导(5)非锥形的一侧宽度相等。