[实用新型]一种多晶合成炉有效
| 申请号： | 201822020016.5 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN209685955U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 袁泽海;于洪国;马远飞;易见伟;马英俊;许所成;李万朋 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B28/06 |
| 代理公司： | 11619 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人： | 佟林松<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 065001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉膛 多晶 合成炉 低温加热区 高温加热区 碳化硅炉管 晶体生长 本实用新型 多晶原料 放置区 可控性 水平梯度凝固法 砷化镓 炉体 镓砷 保证 | ||
1.一种多晶合成炉，其特征在于，包括炉体(1)和炉膛，所述炉膛分为高温加热区和低温加热区(4)，还包括在炉膛内的碳化硅炉管(2)以及所述碳化硅炉管(2)内的晶体生长管(3)；所述晶体生长管(3)在低温加热区(4)设置有一种多晶原料放置区(5)；并且所述晶体生长管(3)在高温加热区设置有另一种多晶原料放置区。
2.根据权利要求1所述的多晶合成炉，其特征在于，所述高温加热区与所述低温加热区(4)位于同一高度，且保持水平。
3.根据权利要求1所述的多晶合成炉，其特征在于，所述碳化硅炉管(2)与所述炉膛为同轴心设置，且所述碳化硅炉管(2)两端开口。
4.根据权利要求1所述的多晶合成炉，其特征在于，所述炉膛内设置有加热体。
5.根据权利要求4所述的多晶合成炉，其特征在于，所述高温加热区包括第一高温区(6)、第二高温区(7)和第三高温区(8)，所述第一高温区(6)、第二高温区(7)和第三高温区(8)三者独立设置。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的多晶合成炉，其特征在于，所述晶体生长管(3)在另一种多晶原料放置区内设置有石英舟(9)，且所述另一种多晶原料放置在所述石英舟(9)内。
7.根据权利要求6所述的多晶合成炉，其特征在于，所述碳化硅炉管(2)上设置有观察窗口(10)，且对应的炉膛上设置有观察孔。
8.根据权利要求7所述的多晶合成炉，其特征在于，所述观察窗口(10)为所述碳化硅炉管(2)开设一开口并在表面覆盖石英片，且所述观察窗口(10)位于所述石英舟(9)远离所述低温加热区(4)一侧的正上方。
9.根据权利要求1所述的多晶合成炉，其特征在于，所述的一种多晶原料为砷，另一种多晶原料为镓，所述多晶为砷化镓。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研光电新材料有限责任公司，未经有研光电新材料有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822020016.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铸锭散热台和铸锭装置
- 下一篇：灯箱装置、保温装置及退火炉设备
