[实用新型]精密驱动位移测量装置

权利要求书

1.一种精密驱动位移测量装置，其特征在于，包含尺蠖驱动器(100)与测量元件(200)，所述尺蠖驱动器(100)包含驱动壳体(110)与输出件(140)，驱动壳体(110)上设置有滑移开口，所述输出件(140)滑动安装在滑移开口中；

所述驱动壳体(110)上还设置有箝位件(120)与驱动件(130)；所述测量元件(200)安装在以下任一个或任多个位置上：箝位件(120)、驱动件(130)、输出件(140)。

2.根据权利要求1所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，所述驱动件(130)包含第一驱动槽(131)与第二驱动槽(132)，第一驱动槽(131)与第二驱动槽(132)的槽口相对设置；

所述箝位件(120)包含第一箝位部、第二箝位部；沿驱动壳体(110)的轴向方向上，第一箝位部、第一驱动槽(131)、第二驱动槽(132)、第二箝位部依次布置。

3.根据权利要求2所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，所述箝位件(120)包含箝位槽，第一箝位部、第二箝位部分别形成第一箝位槽(121)、第二箝位槽(122)；

箝位件(120)与驱动件(130)中均安装有驱动形变件；

所述驱动形变件包含以下任一种或任多种结构：磁致形变件、电致形变件、热敏感材料件、流体形变件。

4.根据权利要求1所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，所述输出件(140)包含输出直杆(141)，输出直杆(141)包含测值部(142)；

测值部(142)包含测值导电材料件(143)，测值导电材料件(143)配设有电阻测量结构(210)；或者，

测值部(142)包含光栅结构(146)，光栅结构(146)配设有光栅传感器(220)。

5.根据权利要求4所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，测值导电材料件(143)位于输出直杆(141)沿轴向方向的一端；或者，

所述输出直杆(141)上设置有测值凹槽(144)，所述测值凹槽(144)沿输出直杆(141)长度延伸方向延伸，所述测值导电材料件(143)安装在测值凹槽(144)中。

6.根据权利要求2所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，测量元件(200)包含应变传感器(230)和/或光纤；

所述测量元件(200)设置在第一驱动槽(131)和/或第二驱动槽(132)中；或者，

驱动壳体(110)上设置有应变槽(150)，所述应变槽(150)与测量元件(200)相匹配。

7.根据权利要求6所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，第一驱动槽(131)与第二驱动槽(132)均安装有应变传感器(230)，多个应变传感器(230)通过设置的电桥电路连接。

8.根据权利要求2所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，驱动壳体(110)上设置有箝位孔，箝位孔中设置有箝位形变件，第一箝位部、第二箝位部分别形成第一箝位形变件(125)、第二箝位形变件(126)；

所述箝位形变件包含以下任一种或任多种结构：磁致形变件、电致形变件、热敏感材料件、流体形变件。

9.根据权利要求8所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，所述箝位孔中还设置有压紧螺盖(128)；

压紧螺盖(128)将箝位形变件预压紧在输出直杆(141)上。

10.根据权利要求3所述的精密驱动位移测量装置，其特征在于，所述电致形变件包含压电元件(135)，压电元件(135)包含以下任一种或任多种材料件：压电陶瓷材料件、压电晶体材料件、有机压电材料件；

驱动壳体(110)包含以下任一种或任多种材料件：钛合金材料件、不锈钢材料件、铝合金材料件、塑料件、复合材料件。