[实用新型]纳米压印弹性模板及纳米压印组件有效
| 申请号： | 201822028250.2 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN209281147U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 童美魁;段晓东 | 申请（专利权）人： | 上海安翰医疗技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 201206 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米压印 纳米压印胶 弹性模板 增粘层 弹性支撑层 母板 | ||
1.一种纳米压印弹性模板，其特征在于：所述纳米压印弹性模板包括弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，所述增粘层形成于所述弹性支撑层上，所述纳米压印胶层形成于所述增粘层上，在纳米压印胶层上形成有纳米压印结构。
2.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板，其特征在于：所述弹性支撑层为聚二甲基硅氧烷制成的弹性支撑层。
3.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板，其特征在于：所述弹性支撑层的弹性模量为1-20MPa。
4.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板，其特征在于：所述纳米压印胶层固化后的弹性模量为20-500MPa。
5.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板，其特征在于：所述增粘层由3-丙烯酰氧基丙基甲基二氯硅烷材料制成的增粘层。
6.一种纳米压印组件，其特征在于，包括：
基板，包括基片、在基片一侧上依次设置的弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层；
母板，在母板上形成有纳米压印结构；
通过将基板中纳米压印胶层所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触，纳米压印结构印制于纳米压印胶层上。
7.根据权利要求6所述的纳米压印组件，其特征在于：在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏剂层。
8.根据权利要求7所述的纳米压印组件，其特征在于：所述抗黏剂层由全氟辛基三氯硅烷和/或全氟癸基三氯硅烷形成。
9.根据权利要求6所述的纳米压印组件，其特征在于：所述基片由硅片、玻璃、石英片或聚四氟乙烯形成。
10.根据权利要求6所述的纳米压印组件，其特征在于：所述纳米压印结构上涂覆有抗黏剂。
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