[实用新型]微机电泵模块

说明书

一种微机电泵模块，包含：一微处理器，输出一定电压及一变电压；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含有：一芯片本体；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个微机电泵的该第一电极及该至少一共电极，以传输该定电压至该至少一共电极以及传输该变电压至该多个微机电泵的该第一电极。

【技术领域】

本案关于一种微机电泵模块，尤指一种利用共电极的设置来减少微处理器的接点，进而简化微机电泵接点与布线的微机电泵模块。

【背景技术】

随着科技的日新月异，流体输送装置的应用亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化的趋势，但传统的泵难以将尺寸缩小至公厘等级，故目前的微型流体输送装置仅能使用压电泵结构来作为微型流体传输装置。

而微机电泵虽可将泵的体积微小化至微米等级，但微米等级的微机电泵会因为过小的体积而限制流体传输量，故需要多个微机电泵搭配使用，请参考图1所示，目前的微机电泵模块皆是通过一个高阶微处理器1做个别控制，但高阶微处理器1本身成本高，且每个微机电泵2都必须要两个微处理器接脚11连接，增加了高阶微处理器1的成本，

导致微机电泵模块成本居高不下，难以普及，因此，如何降低微机电泵模块的驱动端的成本为目前微机电泵首要克服的难关。

【实用新型内容】

本案的主要目的在于提供一种微机电泵模块，通过共电极来减少微处理器的接点，减少微机电泵模块的接点及布线，进一步简化微机电泵模块。

为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵模块，包含：一微处理器，输出一定电压及一变电压；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个微机电泵的该第一电极及该至少一共电极，以传输该定电压至该至少一共电极以及传输该变电压至该多个微机电泵的该第一电极。

【附图说明】

图1为先前技术中微机电泵模块的示意图。

图2为本案微机电泵模块的示意图。

图3为本案微机电泵模块的微机电芯片的第二实施例示意图。

图4为本案微机电泵模块的微机电芯片的第三实施例示意图。

图5为本案微机电泵模块的微机电芯片的第四实施例示意图。

图6为本案微机电泵模块的微机电芯片的第五实施例示意图。

图7为本案微机电泵模块的微机电芯片的第六实施例示意图。

图8A为本案微机电泵的电连接示意图。

图8B为本案微处理器输出的控制信号的第一实施例示意图。

图8C为本案微处理器输出的控制信号的第二实施例示意图。

图8D为本案微处理器输出的控制信号的第三实施例示意图。

【实施方式】

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。