[实用新型]一种用于形成稀土金属靶材的制备装置

权利要求书

1.一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：包括

靶向机构，用于稀土金属粉末在其表面形成稀土金属靶材；

旋转机构，用于固定靶向机构并带动靶向机构同步运动；

动力机构，用于向旋转装置提供动能；

密封机构，用于在靶向机构表面形成稀土金属靶材时提供密封环境；

在靶向机构两端分别设置有一旋转机构（2），所述密封机构为密闭空间，所述靶向机构位于密闭空间内，所述靶向机构一端通过其中一个旋转机构（2）安装在密闭空间内，另一端穿过密闭空间通过另一个旋转机构（2）与动力机构相连。

2.如权利要求1所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：所述靶向机构为两端设置有密封槽结构的衬管（1），所述旋转机构（2）设置有密封套、套筒，所述密封套与套筒相连，所述密封套与密封槽相配套使用。

3.如权利要求2所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：所述动力机构为电机（3），电机（3）的转轴与位于密封空间外部的套筒相连，位于密封空间内部的套筒固定在密封空间内。

4.如权利要求1所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：制备装置还包括，设置在密闭空间内的下料装置、焊接装置，所述下料装置为位于密封空间内的储料仓（5），所述焊接装置包括堆焊枪（6）、摆动器（7），所述堆焊枪（6）通过摆动器（7）固定在靶向机构的上方，所述摆动器（7）通过支架固定在密闭空间内，所述储料仓（5）与堆焊枪（6）相连，所述摆动器（7）在支架上沿旋转机构（2）轴线方向位置可调，并且堆焊枪（6）与摆动器（7）之间为可调节式连接或一体连接。

5.如权利要求4所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：制备装置还包括分别安装在密闭空间外部的控制系统（8）、真空系统（9）、稀有气体补气装置、稀有气体循环装置（11）、循环风冷系统（12）；

所述控制系统（8）内设置有电源，所述堆焊枪（6）与电源相连，所述补气装置通过密闭空间上的补给口（10）为密闭空间补充稀有气体，所述真空系统（9）用于对密闭空间抽真空，所述稀有气体循环装置（11）用于维持密闭空间内的压强，所述循环风冷系统（12）用于密闭空间内的散热。

6.如权利要求5所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：所述稀有气体循环装置（11）包括稀有气体过滤系统、稀有气体清洗除尘系统、稀有气体压缩系统。

7.如权利要求5所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：所述电源还与电机（3）、堆焊枪（6）相连，用于为电机（3）、堆焊枪（6）提供电能，所述控制系统（8）内还设置有用于控制制备装置的控制组件。

8.如权利要求1所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置，其特征在于：所述稀土金属为镝或铽。