[实用新型]使用电子调谐谐振器产生高压射频信号的系统有效
申请号: | 201822045001.4 | 申请日: | 2018-12-06 |
公开(公告)号: | CN210245449U | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | M·肖索 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02;H01J49/06 |
代理公司: | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人: | 封新琴 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 电子 调谐 谐振器 产生 高压 射频 信号 系统 | ||
1.一种用于产生高压射频输出信号的系统,其特征在于,该系统包括:
振荡器,其被配置为产生驱动频率的驱动信号;
射频放大器,其被配置为放大该驱动信号以产生该驱动频率的放大的驱动信号;
谐振器,其包括调谐部件,该调谐部件被连接以从该射频放大器接收该放大的驱动信号,其中该放大的驱动信号驱动该谐振器以至少部分地基于该调谐部件的谐振参数而产生与该驱动信号相同频率的放大的射频输出信号,该谐振参数随调谐部件温度而变化,其中谐振频率基本上等于该驱动频率,这有赖于该调谐部件温度,并且其中当该谐振频率基本上等于该驱动信号的频率时,该射频输出信号由于该谐振器提供的谐振电压升压而具有放大的振幅;
温度变化元件,其被配置为加热或冷却该调谐部件以改变该调谐部件的温度;和
谐振调谐控制器,其被配置为确定该谐振频率和该驱动频率何时不同,并且控制该温度变化元件改变该谐振参数以将该谐振频率调谐为基本上等于该驱动频率。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,其具有一种或多种以下配置:
该谐振器是LC谐振器,并且该调谐部件是调谐电容器,其中该LC谐振器的谐振参数是该调谐电容器的电容,并且其中该电容随该调谐部件温度而变化;
该谐振器是LC谐振器,并且该调谐部件是调谐电容器,其中该LC谐振器的谐振参数是该调谐电容器的电容,该电容随该调谐部件温度而变化,并且该调谐电容器具有陶瓷电介质或聚丙烯电介质;
该谐振器是LC谐振器,并且该调谐部件是调谐电感器,其中该LC谐振器的谐振参数是该调谐电感器的电感,并且其中该电感随该调谐部件温度而变化;
该调谐部件是由温度系数表征的任何电抗部件,该温度系数指示每单位温度变化下的电抗变化。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,该谐振调谐控制器具有一种或多种以下配置:
该谐振调谐控制器包括现场可编程门阵列,其被编程为响应于确定该谐振频率和该驱动频率不同而产生温度控制信号;
该谐振调谐控制器包括与功率电平对应的温度变化的第一映射和与温度变化对应的该谐振参数的值的第二映射,其中该谐振调谐控制器通过查找与功率电平的变化对应的温度变化并且查找与该温度变化对应的该谐振参数的值来确定该谐振频率与该驱动频率之间的差值。
4.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,该谐振调谐控制器具有一种或多种以下配置:
该谐振调谐控制器包括现场可编程门阵列,其被编程为响应于确定该谐振频率和该驱动频率不同而产生温度控制信号;
该谐振调谐控制器包括与功率电平对应的温度变化的第一映射和与温度变化对应的该谐振参数的值的第二映射,其中该谐振调谐控制器通过查找与功率电平的变化对应的温度变化并且查找与该温度变化对应的该谐振参数的值来确定该谐振频率与该驱动频率之间的差值。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的系统,其特征在于,其进一步包括:
温度监测元件,其被定位成感测从该温度变化元件辐射的热量,并且产生与从该温度变化元件感测的热量对应的电信号电平。
6.根据权利要求1-4中所述任一项的系统,其特征在于,该谐振器在射频放大器输出处接收该驱动电压并且在谐振器输出处产生放大的射频电压,并且该谐振调谐控制器被配置为检测该谐振器输出处的射频电压与该射频放大器输出处的射频电压之间的相移。
7.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,该谐振器在射频放大器输出处接收该驱动电压,并且在谐振器输出处产生放大的射频电压,并且当该驱动频率和该谐振频率相同时,该射频放大器输出处的驱动电压与该谐振器输出处的射频电压之间的相位为90°,并且其中该谐振调谐控制器被配置为通过当该谐振频率小于该驱动频率时检测到大于90°的相位并且当该谐振频率大于该驱动频率时检测到小于90°的相位来检测该相移。
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