[实用新型]一种新型自控压力晶片压覆搭载装置有效

专利信息
申请号: 201822049995.7 申请日: 2018-12-07
公开(公告)号: CN209119062U 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 孟庆坡 申请(专利权)人: 北京盈和科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 代理人: 王程远
地址: 100089 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 压覆 模组 丝杠 吸嘴连接器 搭载装置 伺服电机 压力晶片 自控 吸嘴 底板 步进电机 脚支撑 气管 传感器感应片 本实用新型 角度传感器 易碎 磁性导向 气路接头 负压表 固定杆 联轴器 输出端 传感器 取放 下端 轴套 接通 检测
【权利要求书】:

1.一种新型自控压力晶片压覆搭载装置,包括脚支撑(1)、第一丝杠模组(5)、第二伺服电机(6)、角度传感器(7)、传感器感应片(8)、第二丝杠模组(14)、CCD摄像头(16)和压覆检测传感器(17),其特征在于:所述脚支撑(1)固定安装于固定杆(2)的下端,且固定杆(2)的上端垂直连接于底板(3)的底部,并且底板(3)的边侧固定安装有第一伺服电机(4),所述第一丝杠模组(5)设置于底板(3)上的第一伺服电机(4)边侧,且第一丝杠模组(5)上连接有步进电机(9),所述第二伺服电机(6)设置于底板(3)的上方,且底板(3)上第二伺服电机(6)的边侧安装有第二丝杠模组(14),并且第二伺服电机(6)与步进电机(9)的外壁相互连接,所述步进电机(9)设置于第二丝杠模组(14)上,且步进电机(9)的上方设置有角度传感器(7)和传感器感应片(8),所述步进电机(9)的输出端通过联轴器(10)连接有吸嘴(20),且吸嘴(20)通过吸嘴连接器(15)与气管(11)相互连接,所述气管(11)通过气路接头(18)接通有负压表(12),且负压表(12)和气管(11)的连接处安装有真空电磁阀(13),所述吸嘴连接器(15)的边侧安装有CCD摄像头(16),且吸嘴连接器(15)和吸嘴(20)之间设置有磁性导向轴套(19),并且磁性导向轴套(19)上安装有压覆检测传感器(17)。

2.根据权利要求1所述的一种新型自控压力晶片压覆搭载装置,其特征在于:所述第一伺服电机(4)和第一丝杠模组(5)组成水平移动安装结构。

3.根据权利要求1所述的一种新型自控压力晶片压覆搭载装置,其特征在于:所述第二伺服电机(6)配合第二丝杠模组(14)构成竖直方向上的滑动安装结构。

4.根据权利要求1所述的一种新型自控压力晶片压覆搭载装置,其特征在于:所述联轴器(10)和吸嘴连接器(15)构成旋转式移动结构设置。

5.根据权利要求1所述的一种新型自控压力晶片压覆搭载装置,其特征在于:所述磁性导向轴套(19)和吸嘴(20)及压覆检测传感器(17)构成缓冲压覆结构设置。

6.根据权利要求1所述的一种新型自控压力晶片压覆搭载装置,其特征在于:所述吸嘴(20)配合气路接头(18)通过气管(11)与负压表(12)贯通连接,且负压表(12)和真空电磁阀(13)相互连接。

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