[实用新型]测量水膜厚度的缝隙谐振腔传感器

权利要求书

1.一种测量水膜厚度的缝隙谐振腔传感器，其特征在于：包括谐振腔主体(3)、左端楔形圆筒(1)和右端楔形圆筒(6)；所述谐振腔主体(3)由谐振腔(3-1)和与谐振腔(3-1)相适配的左端栅格隔离器(2)、右端栅格隔离器(5)组成，所述谐振腔(3-1)的左右端分别连通左端栅格隔离器(2)、右端栅格隔离器(5)；左端栅格隔离器(2)和右端栅格隔离器(5)结构相同，均由过左端栅格隔离器(2)的中心点的与左端栅格隔离器(2)的横截面平行的直线型中间金属条和1条以上关于中间金属条对称分布的双曲线形金属条组成；左端楔形圆筒(1)和右端楔形圆筒(6)结构相同；所述左端栅格隔离器(2)的左端与左端楔形圆筒(1)相连通，右端栅格隔离器(5)与右端楔形圆筒(6)相连通；谐振腔主体(3)的侧壁设有耦合件安装孔(4)。

2.根据权利要求1所述的测量水膜厚度的缝隙谐振腔传感器，其特征在于：谐振腔(3-1)的半径为20.59mm，左端栅格隔离器(2)、右端栅格隔离器(5)结构相同，为内设11条金属条的圆柱筒，其中10条金属条为以中间金属条为对称轴的5对双曲线形金属条，金属条的宽度均为1mm；x轴过左端栅格隔离器(2)的中心点且重合于中间金属条的方向，y轴与x轴正交，5对双曲线形金属条从中间到两侧方向焦点依次为(0,27.11)、(0,24.62)、(0,21.02)、(0,19.59)、(0,20.0)；谐振腔(3-1)工作于TE₁₁₁模式下。

3.根据权利要求1所述的测量水膜厚度的缝隙谐振腔传感器，其特征在于：所述左端楔形圆筒(1)的气流流入端的壁面和右端楔形圆筒(6)的气流流出端壁面均为楔形结构。

4.根据权利要求1所述的测量水膜厚度的缝隙谐振腔传感器，其特征在于：所述谐振腔主体(3)的耦合方式为同轴线激励。

5.根据权利要求1所述的测量水膜厚度的缝隙谐振腔传感器，其特征在于：谐振腔(3-1)的半径为20.59mm，左端栅格隔离器(2)和右端栅格隔离器(5)均由直线形中间金属条和关于直线形中间金属条左右对称分布的4对双曲余弦形金属条组成，金属条的宽度均为1mm；x轴过左端栅格隔离器(2)的中心点且重合于中间金属条的方向，y轴与x轴正交，沿y轴正方向的四条双曲余弦形金属条依次为过点(0,4.511)、(0,7.855)、(0,12.15)、(0，16.9)的四条双曲余弦线，它们的函数方程依次为：y1＝0.011cosh(x/4)+4.5，y₂＝0.055cosh(x/4)+7.8，y₃＝0.35cosh(x/4)+11.8，y₄＝2.1cosh(x/4)+14.8；单位均为mm。