[实用新型]一种具有多机械手的蒸镀装置

权利要求书

1.一种具有多机械手的蒸镀装置，包括周向设置的n个功能腔室(1)和中心传递室(2)，n个所述功能腔室(1)围绕所述中心传递室(2)连接成“簇”状，其特征在于，所述中心传递室(2)内设有m个机械手(3)、机械臂(4)和机械传动器(5)，所述机械传动器(5)设置在所述机械臂(4)的一端，用于带动所述机械臂(4)沿水平向转动，所述机械手(3)位于所述机械臂(4)的另一端，用于摘取位于所述功能腔室(1)内的基片或掩膜；其中n≥2，m≥2，且m≤n。

2.根据权利要求1所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手(3)的数量m为2，分别为机械手A(31)和机械手B(32)，所述机械手A(31)位于所述机械手B(32)的上方。

3.根据权利要求2所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手A(31)和机械手B(32)与所述机械臂(4)之间通过连接柱Ⅰ(6)可转动固定连接。

4.根据权利要求3所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手A(31)和机械手B(32)通过轴承(8)与所述连接柱Ⅰ(6)可转动固定连接，且所述机械手A(31)可通过所述轴承(8)沿所述连接柱Ⅰ(6)上下移动。

5.根据权利要求3所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手A(31)上设有两个平行设置的轴臂Ⅰ(311)，所述机械手B(32)上设有单个轴臂Ⅱ(321)，两个所述轴臂Ⅰ(311)之间的间隙大于所述轴臂Ⅱ(321)的宽度。

6.根据权利要求4所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手A(31)可通过所述轴承(8)下移至所述机械手B(32)的水平位置，与所述机械手B(32)重叠。

7.根据权利要求2所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手A(31)和机械手B(32)互为180°摆放。

8.根据权利要求5所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手A(31)的两平行轴臂Ⅰ(311)上设有单向的承载挡板(312)；所述机械手A(31)的两平行轴臂Ⅰ(311)与所述连接柱Ⅰ(6)之间设置为可外开的弹簧节点连接，当所述承载挡板(312)自下方受到先上的作用力时，两平行的所述轴臂Ⅰ(311)以连接柱Ⅰ(6)为中心逐渐向外呈扇形划开。

9.根据权利要求1所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械臂(4)为多段式臂，各段之间通过连接柱Ⅱ(7)可转动固定连接。

10.根据权利要求1所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械臂(4)为两段式臂，两段之间通过连接柱Ⅱ(7)可转动固定连接。

11.根据权利要求1-10任一项所述的具有多机械手的蒸镀装置，其特征在于，所述机械手(3)前端上方设有传感器(9)，用于感应位于所述功能腔室(1)内的基片或掩膜的位置；

所述机械传动器(5)位于所述中心传递室(2)的中心。