[实用新型]一种半导体测试装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体测试装置，包括机体和样品台，所述机体上设置有起偏器、检偏器、支撑脚、传动螺母、轴孔与调节螺丝，所述起偏器通过螺丝安装固定于机体上方左侧，所述检偏器通过螺丝安装固定于机体上方右侧，所述支撑脚通过螺纹连接于机体底部边角上，所述传动螺母通过轴承过盈连接于机体前端顶部中间，所述轴孔开设于机体前端顶部，且轴孔分布于传动螺母两侧，所述调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，且调节螺丝分布于轴孔两侧，所述样品台放置于起偏器与检偏器之间。本实用新型可轻松对样品台的位置、角度进行调节，避免调节起偏器与检偏器，而浪费测试时间。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体测试装置，属于半导体测试技术领域。

背景技术

半导体测试装置（椭偏仪）是一种用于探测半导体薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器；目前椭偏仪在进行使用时需要对起偏器与检偏器的位置进行调节，严重影响半导体的测试时间。为解决上述问题，特提供一种新的技术方案。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的本实用新型采用以下技术方案：一种半导体测试装置，包括机体和样品台，所述机体上设置有起偏器、检偏器、支撑脚、传动螺母、轴孔与调节螺丝，所述起偏器通过螺丝安装固定于机体上方左侧，所述检偏器通过螺丝安装固定于机体上方右侧，所述支撑脚通过螺纹连接于机体底部边角上，所述传动螺母通过轴承过盈连接于机体前端顶部中间，所述轴孔开设于机体前端顶部，且轴孔分布于传动螺母两侧，所述调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，且调节螺丝分布于轴孔两侧，所述样品台放置于起偏器与检偏器之间。

优选的，所述样品台上设置有中吊耳与侧吊耳，所述中吊耳焊接于样品台底部中间，所述侧吊耳对称焊接于样品台底部两侧。

优选的，所述中吊耳上通过转轴连接有传动螺杆，所述传动螺杆与传动螺母螺纹连接。

优选的，所述侧吊耳上通过转轴连接有光轴，所述光轴嵌套于轴孔内，光轴底部通过转轴连接有底板，所述底板顶部两侧与机体底部之间焊接有弹簧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型传动螺杆与传动螺母螺纹连接，可通过传动螺母轻松带动样品台直线上升或下降；底板顶部两侧与机体底部之间焊接有弹簧，可通过弹簧使底板时刻保持平衡；调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，可通过调节螺丝轻松对底板进行左右按压。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型机体结构示意图；

图3为本实用新型样品台结构示意图；

图中：1-机体；2-样品台；3-起偏器；4-检偏器；5-支撑脚；6-传动螺母；7-轴孔；8-调节螺丝；9-中吊耳；10-侧吊耳；11-传动螺杆；12-光轴；13-底板；14-弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的阐述。

如图1-3所示，一种半导体测试装置，包括机体1和样品台2，机体1上设置有起偏器3、检偏器4、支撑脚5、传动螺母6、轴孔7与调节螺丝8，起偏器3通过螺丝安装固定于机体1上方左侧，检偏器4通过螺丝安装固定于机体1上方右侧，支撑脚5通过螺纹连接于机体1底部边角上，传动螺母6通过轴承过盈连接于机体1前端顶部中间，轴孔7开设于机体1前端顶部，且轴孔7分布于传动螺母6两侧，调节螺丝8通过螺纹连接于机体1前端顶部，且调节螺丝8分布于轴孔7两侧，样品台2放置于起偏器3与检偏器4之间。