[实用新型]一种溅射靶材加工装置

权利要求书

1.一种溅射靶材加工装置，其特征在于，包括基板(1)以及围挡(2)，围挡(2)可拆卸安装于基板(1)上并沿基板(1)的边沿周向设置，围挡(2)与基板(1)形成一槽体(13)，槽体(13)的一内侧壁固定有第一卡块(4)，槽体(13)相对于第一卡块(4)的内侧壁可拆卸安装有第二卡块(5)，第一卡块(4)和第二卡块(5)夹持于靶材(11)的两侧，围挡(2)的顶部开设有与背板(12)配合卡接的卡槽(3)，且卡槽(3)与槽体(13)相通设置。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，围挡(2)至少包括四根横板，各横板上分别设置有第一螺栓(6)，第一螺栓(6)穿过对应的横板并与基板(1)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，第一卡块(4)、第二卡块(5)的顶面同步与卡槽(3)的内底面平齐。

4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，第二卡块(5)朝向槽体(13)的一侧至少呈二阶的阶梯状设置，第二卡块(5)上设置有第二螺栓(7)，第二卡块(5)开设有第二贯穿口，第二贯穿口低于第二卡块(5)的顶面，第二螺栓(7)穿过第二贯穿口并螺纹连接于基板(1)。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，第一卡块(4)朝向槽体(13)的一侧呈与第二卡块(5)配合的阶梯状设置。

6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，槽体(13)内固定有固定块(10)，当靶材(11)卡入槽体(13)内时，固定块(10)、第一卡块(4)、第二卡块(5)同步与靶材(11)的三个侧面抵接。

7.根据权利要求6所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，槽体(13)相对固定块(10)的内侧面固定有定位块(8)，定位块(8)和固定块(10)之间放置有限位块(9)，在靶材(11)卡入卡槽(3)时，限位块(9)和靶材(11)夹持于定位块(8)和固定块(10)之间。

8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，还包括耐高温膜，耐高温膜铺设于槽体(13)内壁上。

9.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于，基板(1)、围挡(2)、第一卡块(4)以及第二卡块(5)上分别涂有防滑涂层。