[实用新型]一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备

权利要求书

1.一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于：包括差分真空室、抽气机组、差分真空规、进气口真空规、四级杆质谱计、插板阀一、插板阀二、微调阀、角阀和真空管路，所述差分真空室底部通过插板阀一与抽气机组相连接，差分真空室侧面有两个接口法兰，其中一个所述接口法兰通过三通分别与差分真空规和四级杆质谱计连接，另一个所述接口法兰通过三通分别与两条差分支路连接，两条所述差分支路通过一个三通和四通相连接,所述真空管路包括波纹管一和波纹管二；

其中，插板阀二所在支路通过波纹管一连接；

微调阀所在支路通过波纹管二连接，所述四通上还连接有进气口真空规。

2.根据权利要求1所述的一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于，所述波纹管一的内径为φ35mm，且所述波纹管二的内径为φ16mm。

3.根据权利要求1所述的一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于，所述进气口真空规通过四通连接有角阀，且进气口真空规设置在角阀与插板阀二之间。

4.根据权利要求1所述的一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于，所述差分真空室、插板阀二、进气口真空规和角阀内部之间相互连通。

5.根据权利要求1所述的一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于，所述插板阀二通过四通连接有微调阀。