[实用新型]一种隐藏式框架管路结构有效

专利信息
申请号: 201822064575.6 申请日: 2018-12-10
公开(公告)号: CN209388111U 公开(公告)日: 2019-09-13
发明(设计)人: 詹泽军;邱田生;陈振才 申请(专利权)人: 东莞市多普技术研发有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广东莞信律师事务所 44332 代理人: 钟宇宏
地址: 523000 广东省东莞市松山湖高新技术*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 通气沟槽 通气路 上框架 玻璃 上玻璃 隐藏式 底片 连通 本实用新型 管路结构 连接口 吸真空 下框架 四边 侧面连接 密封空腔 隐藏设置 翻转 吸附 气压 侧面 清洁
【说明书】:

实用新型公开一种隐藏式框架管路结构,包括上框架和下框架,上框架能够翻转与下框架扣合、形成吸附底片的密封空腔,上框架的内侧面连接有一上玻璃,上玻璃与上框架的内侧面之间隐藏设置有通气沟槽,通气沟槽与上玻璃的玻璃通气路孔连通。本实用新型采用隐藏式的通气沟槽,通气沟槽位于上玻璃与上框架之间隐藏起来,玻璃通气沟槽的位置与通气沟槽的位置相对应,玻璃通气路孔与框架通气路孔连接口对应。当启动底片吸真空时,气压经两个框架通气路孔、并连接到玻璃通气路孔,而两条框架通气路孔分别经两条通气沟槽连通到框架通气路孔连接口,再连通到玻璃通气路孔及玻璃通气沟槽以形成四边快速对底片吸真空,便于框架的清洁。

技术领域

本实用新型涉及曝光机领域,特别涉及一种隐藏式框架管路结构。

背景技术

在传统曝光机的玻璃面吸底片真空都为玻璃开槽式进行抽真空吸附,首先是机台支管与框架通气孔接口相连通,而框架通气孔接口则是再通过气管与框架另一端连通实现,由于底片吸真空速度要求较快多半会设计四边同时抽取真空,故而在框架两侧都会有气管相连通;从而造成生产清洁的不便性,时常还会被割胶带的刀片伤到及漏气风险,同时外部受通气管道的影响也不美观。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的上述缺陷,提供一种隐藏式框架管路结构。

为解决现有技术的上述缺陷,本实用新型提供的技术方案是:一种隐藏式框架管路结构,包括上框架和下框架,所述上框架能够翻转与所述下框架扣合、形成吸附底片的密封空腔,所述上框架的内侧面连接有一上玻璃,所述上玻璃与所述上框架的内侧面之间隐藏设置有通气沟槽,所述通气沟槽与所述上玻璃的玻璃通气路孔连通。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述上框架的内侧面设置有至少两圈回形密封沟槽,两圈所述回形密封沟槽之间设有至少两条通气沟槽,两条所述通气沟槽的一端均设有框架通气路孔,两条所述通气沟槽的另一端均设有框架通气路孔连接口,两个所述框架通气路孔分别连接到设备支路气管。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,两圈所述回形密封沟槽内均填充有密封胶。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述上玻璃的内侧面设有一圈密封的玻璃通气沟槽,所述玻璃通气沟槽的四个转角处均设有玻璃通气路孔。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述玻璃通气沟槽的位置与所述通气沟槽的位置相对应,所述玻璃通气路孔与所述框架通气路孔连接口对应。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述上玻璃的四周边缘分别设有若干阶梯沉头螺孔,所述上玻璃通过沉头螺钉锁接在所述上框架的内侧面,所述上玻璃锁接过程中挤压所述密封胶、使两圈回形密封沟槽之间的空间形成密封状态。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述上框架和所述下框架的扣合通过设置在所述上框架和所述下框架两侧的开关框手柄组件完成。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述开关框手柄组件包括分别连接在所述上框架和所述下框架侧部的摆臂、及连接在所述下框架侧部的气缸,所述气缸的活塞杆端部连接在所述摆臂上,所述气缸控制活塞杆回缩时、所述上框架翻转与所述下框架扣合。

作为本实用新型隐藏式框架管路结构的一种改进,所述上框架和所述下框架对称设置。

与现有技术相比,本实用新型的优点是:本实用新型采用隐藏式的通气沟槽,通气沟槽位于上玻璃与上框架之间隐藏起来,玻璃通气沟槽的位置与通气沟槽的位置相对应,玻璃通气路孔与框架通气路孔连接口对应。上玻璃锁接过程中挤压所述密封胶、使两圈回形密封沟槽之间的空间形成密封状态。当启动底片吸真空时,气压经两个框架通气路孔、并连接到玻璃通气路孔,而两条框架通气路孔分别经两条通气沟槽连通到框架通气路孔连接口,再连通到玻璃通气路孔路孔及玻璃通气沟槽以形成四边快速对底片吸真空,从外表看既美观也便于框架的清洁。

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