[实用新型]薄膜制备系统一体化加热装置

权利要求书

1.一种薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，包括：

导电滑环，设置在薄膜制备系统真空腔室的外部，用于实现转动给电；所述导电滑环的引入导线与外部电源相接，所述导电滑环的引出导线与穿接在套筒内的导线相接；

密封模块，包括上密封单元、下密封单元以及位于上密封单元和下密封单元之间用于实现两个密封单元之间连接的波纹管；在所述上密封单元和所述下密封单元内均填充有磁流体；所述下密封单元的底部通过法兰盘与薄膜制备系统真空腔室的壳体相接；

套筒，竖向穿过所述密封模块，所述套筒可相对所述密封模块转动；所述套筒在所述上密封单元和所述下密封单元内被磁流体所包裹；所述套筒的上端穿出所述密封模块与所述导电滑环相接，所述套筒的下端穿出所述密封模块并伸入到薄膜制备系统真空腔室内；在所述套筒内穿接有导线，所述导线的上端与所述导电滑环的引出导线相连接；

动力模块，包括电机以及转轮，所述转轮固定设置在所述套筒的外侧壁，所述转轮通过履带与所述电机相接，所述电机可通过履带驱动所述转轮和所述套筒转动；

加热模块，位于薄膜制备系统真空腔室内，包括炉盘及加热丝，所述炉盘为圆筒形金属盒体结构，所述加热丝固定设置在所述炉盘内；所述套筒的下端伸入所述炉盘内并与所述炉盘固定连接，所述套筒转动可带动所述炉盘转动；穿接在所述套筒内的导线的下端与炉盘内的加热丝电连接；在所述炉盘内还设置有用于盛放基片的基片托；以及

升降模块，包括旋转手柄、螺纹杆、金属板；所述金属板固定设置在所述上密封单元和所述波纹管的连接处，所述螺纹杆穿过所述金属板，所述旋转手柄设置在所述螺纹杆的上端，通过转动所述旋转手柄，可使所述金属板相对所述螺纹杆上下移动，进而可带动所述上密封单元、所述套筒、所述加热模块以及所述导电滑环一起共同上下移动，同时带动所述波纹管伸展或压缩。

2.根据权利要求1所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，所述薄膜制备系统为磁控溅射设备或脉冲激光沉积设备。

3.根据权利要求1所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，所述导电滑环包括定子和转子，所述定子连接引入导线，所述转子连接引出导线，且所述转子与所述套筒的上端固接。

4.根据权利要求1所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，所述基片托设置在所述炉盘的底部，在所述基片托的上方设有陶瓷支架，所述加热丝固定在所述陶瓷支架上。

5.根据权利要求4所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，穿接在所述套筒内的导线的下端通过陶瓷导线连接柱与炉盘内的加热丝电连接。

6.根据权利要求1所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，所述加热丝为铬镍合金丝。

7.根据权利要求1所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，所述套筒为中空的金属柱体。

8.根据权利要求1所述的薄膜制备系统一体化加热装置，其特征是，在所述下密封单元与薄膜制备系统真空腔室的壳体的连接处还设置有用于密封的铜垫圈。