[实用新型]一种用于晶圆片卡塞的专用夹手

权利要求书

1.一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，该卡塞包括左右对称的框架本体，所述框架本体内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板，所述框架本体前方开口的两侧均设置有第一翻边，所述第一翻边垂直所述第一卡板设置，所述框架本体的上端面设置有两个“﹃”型件，所述“﹃”型件的外侧均设置有第二翻边，所述第二翻边平行所述第一卡板设置；其特征在于：所述夹手包括用于与第一机械手连接的第一连接板，所述第一连接板内侧设置有两组并排设置的第一轴承座，所述每组第一轴承座之间均设置有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件的丝杠螺母外设置有第一移动块，所述第一移动块的一侧固定有第一连接件，所述夹手还包括用于夹持所述卡塞的第一夹具，所述第一夹具包括左右对称的两个夹紧块，所述夹紧块通过所述第一连接件固定在所述第一移动块上。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，其特征在于：所述第一丝杠组件靠近所述第一连接板一侧均设置有第一导轨，所述第一移动块与所述第一导轨上的滑块固定设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，其特征在于：所述夹紧块包括侧夹块和平夹块，所述侧夹块的内侧设置有水平的且可以卡入所述第二翻边的第一卡槽，所述第一卡槽上方固定有所述平夹块，所述平夹块的内侧端设置有水平的且可以卡入所述“﹃”型件的第二卡槽，所述侧夹块对应所述第一翻边位置开设有竖直的第三卡槽，所述第三卡槽设置有倒角。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，其特征在于：所述第一丝杠组件的上方均设置有第一电机，所述第一电机通过同步带与所述第一丝杠组件传动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，其特征在于：所述第一轴承座下方设置有第一护罩。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，其特征在于：所述第一连接板上方设置有第一光纤。