[实用新型]一种紫外激光的微加工装置有效
| 申请号： | 201822085756.7 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209491443U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 代雨成;黄海庆;刘亮;杨柯;曹洪涛;吕启涛;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微加工装置 紫外激光 聚焦组件 扩束镜 镜片 衰减 本实用新型 紫外激光器 传输 熔点 激光功率 激光加工 降低功率 光斑 体积小 加工 激光 聚焦 精细 输出 | ||
1.一种紫外激光的微加工装置，所述微加工装置包括紫外激光器，其特征在于：所述微加工装置还包括至少一个用于降低激光功率的衰减镜片、扩束镜以及聚焦组件，其中，紫外激光器产生激光后传输至衰减镜片，通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚焦后输出。
2.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述聚焦组件包括振镜机构和一聚焦镜头。
3.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述微加工装置还包括一用于改变光路径并进行光传输的光学镜片，其中，紫外激光器产生激光，光学镜片改变激光的传播路径后将激光传输至衰减镜片，再通过衰减镜片降低功率后传输至扩束镜，再通过调节扩束镜的倍数改变光斑大小后传输至聚焦组件，最后通过聚焦组件进行聚焦后输出。
4.根据权利要求3所述的微加工装置，其特征在于：所述光学镜片为紫外反射镜。
5.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述扩束镜为变倍紫外扩束镜，变倍范围为2-10倍。
6.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述紫外激光器的激光波长为266nm-355nm。
7.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述微加工装置还包括一用于在断电等意外情况下阻断激光的电控机械关闸。
8.根据权利要求1所述的微加工装置，其特征在于：所述微加工装置还包括一用于操作人员对打标图档进行模拟的红光预览模块。
9.根据权利要求2所述的微加工装置，其特征在于：所述聚焦组件聚焦后的光斑为5um-45um。
10.根据权利要求2所述的微加工装置，其特征在于：所述振镜机构为10mm-14mm的振镜。
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