[实用新型]光学位置检测装置有效
| 申请号： | 201822088095.3 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN209230522U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 胡进;陈铭勇 | 申请（专利权）人： | 苏州亿拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学位置检测装置 成像光路 放大镜组 检测光源 投影镜组 探测器 光阑 入射 成像 本实用新型 边缘轮廓 反射光束 放大成像 工件表面 检测装置 空间位置 位置变化 位置检测 亚微米级 依次设置 点光源 线光源 斜入射 沿检测 光路 光源 避开 放大 占据 检测 清晰 申请 | ||
1.一种光学位置检测装置，其特征在于，包括检测光源以及沿检测光源的成像光路依次设置的光阑、投影镜组、成像放大镜组和探测器，其中，
检测光源为点光源或线光源；
投影镜组，将来自光阑的光束以一定倾角入射在工件的待测表面；
成像放大镜组，可将待测表面的反射光束进行放大成像后入射至探测器。
2.根据权利要求1所述的光学位置检测装置，其特征在于，定义一加工空间，该加工空间位于工件待测表面垂直上方，
所述检测光源、光阑、投影镜组、成像放大镜组和探测器均位于所述加工空间外。
3.根据权利要求2所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述检测光源、光阑、投影镜组位于所述加工空间的一侧，
成像放大镜组和探测器位于所述加工空间的另外一侧。
4.根据权利要求1所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述成像放大镜组包括沿成像光路依次设置的第1级放大镜组和第2级放大镜组，所述第2级放大镜组的放大倍率大于第1级放大镜组的放大倍率。
5.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述第1级放大镜组采用物方远心光路。
6.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述第1级放大镜组的放大倍率为3～4倍。
7.根据权利要求6所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述第1级放大镜组的放大倍率为3倍。
8.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述第2级放大镜组的放大倍率为5～20倍。
9.根据权利要求8所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述第2级放大镜组的放大倍率为6倍。
10.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述第1级放大镜组与待测工件之间设置有第二反射镜；所述投影镜组包括沿成像光路依次设置的透镜/透镜组和第一反射镜。
11.根据权利要求1所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述光阑为小孔光阑或狭缝光阑。
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