[实用新型]一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽

权利要求书

1.一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，包括一个上端开口的矩形槽体，其特征是：槽体一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管，抽风管下端装有引风机，抽风管顶端装有一根与抽风管连通的引风管，引风管向脱水槽前端的清洗槽方向延伸，引风管上设有若干个风孔；抽风管上装有两根穿入脱水槽槽体内的脱水管，其中一根位于脱水槽上端，另一根位于脱水槽下端。

2.根据权利要求1所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，其特征是：所述抽风管底端装有埋入地下且引出外部的排气管。

3.根据权利要求1所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，其特征是：所述槽体两侧壁上装有向清洗系统外部延伸的支撑壁，每个支撑壁上装有用于将装载金属掩膜板的吊具向清洗系统外输送的输送装置。

4.根据权利要求3所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，其特征是：输送输送装置包括固定安装在支撑壁上的水平的支撑梁，支撑壁外端装有传动齿轮，支撑壁内端或槽体侧壁上装有驱动齿轮，驱动齿轮上装有减速电机，驱动齿轮与传动齿轮上绕装有一根循环的链条，链条位于支撑梁上方的部分固定装有一块沿支撑梁滑动的滑板，滑板顶部装有用于承托吊具的支撑块。

5.根据权利要求4所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，其特征是：所述支撑壁外端装有接近开关，接近开关与减速电机电气连接，滑板或支撑块移动到接近开关处时减速电机停机。