[实用新型]一种用于外腔可调谐激光器的980纳米波段透射型光栅

说明书

本实用新型涉及透射式光栅，具体涉及一种用于外腔可调谐激光器的980纳米波段透射型光栅，该光栅分为光栅层和衬底层；衬底层为高透射率材料制成，光栅层采用高折射率材料制成；衬底层左侧设有入射角测量装置，入射角测量装置包括腔体、透光孔和示数板；腔体表面开设有狭小的透光孔，透光孔内设有透光板，腔体内注满透明胶体，腔体前端面设有示数板，示数板为透明材料制得，示数板右侧刻有刻度线；本实用新型所提供的透射型光栅弥补了现有透射型光栅存在的960‑980纳米的p偏振衍射频率不稳定的缺陷。

技术领域

本实用新型涉及透射式光栅，具体涉及一种用于外腔可调谐激光器的980纳米波段透射型光栅。

背景技术

1964年，世界上首个外腔式半导体激光器的实验被Crowe和Craig验证。1981年，Fleming和Mooradian发表了第一篇详细论述外腔式可调谐半导体激光器特性的文章，此后，外腔半导体激光器的研究在全球范围内开始活跃起来。如今，外腔半导体激光器的研究热点已转移到大范围连续调谐、频率稳定和拓展应用等方面，其商品被广泛用于频分复用和相干光通信系统。目前，外腔式可调谐半导体激光器已经发展出来了多种结构，虽然各不相同，但它们的设计原则都一样，就是在外腔中插入分光元件，通过调节分光元件与腔外的反馈机构来实现激光波长的调谐。目前比较流行的两种外腔结构是基于光栅的Littrow结构和Littman-Metcalf结构。这两种结构的特点是均采用光栅作为分光元件和反馈机构。可应用于980纳米波段的调谐激光器的光栅，需要在稳定的-1级反射和0级透射，至少涵盖960纳米到980纳米的波段。该应用的光栅尚未见报道。

在公开号CN203465002U，公开日期为2014年3月5日的实用新型专利中公开了一种透射式光栅光谱仪，可以将光分成光谱进行记录和输出。光谱仪包括入射狭缝，准直透镜，光栅，聚焦透镜，反射镜，光电转换装置。光谱仪准直透镜和聚焦透镜的使用采用共光轴光路方式，在较短波长范围内，色差和像差影响小，光谱分辨率高，通光效率高，杂散光少，调节方便，结构稳定。适用于固定激发波长的拉曼光谱测试，尤其是紫外波段的拉曼光谱的测试。

本发明要解决的技术问题是针对960～980纳米的波长范围，实现P偏振稳定的衍射效率，但现有透射型光栅通常存在960-980纳米的p偏振衍射频率不稳定的缺陷。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对上述存在的问题，本实用新型提出了一种用于外腔可调谐激光器的980纳米波段透射型光栅。本实用新型所提供的技术方案能够在一定程度上有效弥补现有透射型光栅存在的960-980纳米的p偏振衍射频率不稳定的缺陷。

(二)技术方案

—种用于980纳米波段可调谐外腔激光器的宽带透射光栅，其特点在于该光栅的周期为0.55～0.59微米米、刻蚀深度165～270纳米，材料是氮化硅薄膜。光栅占空比为0.3～0.7。光栅底熔融石英衬底上。

在上述结构中，特别是周期555纳米，占空比0.4，氮化硅薄膜光栅高度210纳米时，在利特罗角度62度入射，-1级P光衍射效率高于在940～1000纳米米波长范围内为8％，0级透过率高于88％。能满足外腔激光器的宽带稳定可调需求。

为了实现上述的目的，本实用新型采用以下的技术方案:

用于外腔可调谐激光器的980纳米波段透射型光栅，特征在于，该光栅分为光栅层和衬底层；所述衬底层为高透射率材料制成，所述光栅层采用高折射率材料制成；所述衬底层左侧设有入射角测量装置，所述入射角测量装置包括基座、腔体、透光孔和示数板；所述基座内部开设有空腔，所述腔体左侧上部开设有狭小的透光孔，所述透光孔内设有透光板，所述腔体内注满透明胶体，所述腔体前端面设有示数板，所述示数板为透明材料制得，所述示数板右侧刻有刻度线。

优选的，所述衬底层材料为熔融石英。