[实用新型]一种氟化镱用沉积真空炉

说明书

本实用新型公开了一种氟化镱用沉积真空炉，涉及真空炉技术领域。本实用新型包括炉体、真空罐和真空泵，还包括除尘弯管，除尘弯管的一端连通炉体的内部，另一端连通真空罐，除尘弯管沿其长度呈“W”形折弯，除尘弯管“W”形的波谷处的外壁上螺纹连接有除尘筒，除尘弯管的波峰处的内部管道壁上转动连接有挡板。本实用新型通过设置气体节流电磁阀、“W”形除尘弯管和除尘筒，通过除尘筒进行灰尘和湿气的吸附，在突发事件发生，例如需要对除尘筒进行清理更换时，通过关闭气体节流电磁阀，再将除尘筒螺纹旋拧下来进行清理，解决了现在灰尘容易污染腐蚀设备的问题。

技术领域

本实用新型属于真空炉技术领域，特别是涉及一种氟化镱用沉积真空炉。

背景技术

真空炉即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，这就是真空炉。

现有的氟化镱用沉积真空炉在进行抽真空时，由于炉体内的物料加热或冷却时，会产生大量的灰尘，因此当真空泵进行抽真空时，容易腐蚀真空泵。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氟化镱用沉积真空炉，通过设置气体节流电磁阀、“W”形除尘弯管和除尘筒，通过除尘筒进行灰尘和湿气的吸附，在突发事件发生，例如需要对除尘筒进行清理更换时，通过关闭气体节流电磁阀，再将除尘筒螺纹旋拧下来进行清理，解决了现在灰尘容易污染腐蚀设备的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种氟化镱用沉积真空炉，包括炉体、真空罐和真空泵，还包括除尘弯管，所述除尘弯管的一端连通炉体的内部，另一端连通真空罐；

所述除尘弯管沿其长度呈“W”形折弯，除尘弯管“W”形的波谷处的外壁上螺纹连接有除尘筒，除尘筒的一端螺纹连接在除尘弯管内部通道的壁内，另一端处于除尘弯管的外部，且其端头出固定安装有把手，除尘筒的中部填充有吸尘层；

所述除尘弯管的波峰处的内部管道壁上转动连接有挡板，挡板的一端设有轴杆和扭转弹簧，扭转弹簧套设在轴杆上，轴杆的两端安装在除尘弯管的壁内，挡板固定安装在扭转弹簧的一端头，扭转弹簧的另一端头固定连接在除尘弯管的壁上；

所述除尘弯管波峰处的内部管道的上壁设有与挡板配合使用的凹槽，凹槽靠近炉体的一端壁为与板面配合的竖直结构，挡板通过扭转弹簧紧密贴合在凹槽竖直结构的壁上。

进一步地，所述炉体的底部设有盛料托盘，炉体的内部壁上固定安装有高温隔热层，高温隔热层上固定有多个环形加热管，环形加热管由上往下均匀分布。

进一步地，所述炉体上设有出气管，出气管的一端连通炉体内部，另一端螺纹连接除尘弯管的一端，出气管上固定安装有气体节流电磁阀。

进一步地，所述真空罐上设有进气管，进气管的一端连通真空罐内部，另一端螺纹连接除尘弯管的一端。

进一步地，所述吸尘层为活性炭和吸水棉组成。

进一步地，所述炉体和真空罐上均设有温湿度器和压力表。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过设置气体节流电磁阀、“W”形除尘弯管和除尘筒，通过除尘筒进行灰尘和湿气的吸附，在突发事件发生，例如需要对除尘筒进行清理更换时，通过关闭气体节流电磁阀，再将除尘筒螺纹旋拧下来进行清理，解决了现在灰尘容易污染腐蚀设备的问题。